激光干涉光刻织构化硅表面及微摩擦性能研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 图清单 | 第11-17页 |
| 表清单 | 第17-18页 |
| 变量注释表 | 第18-19页 |
| 1 绪论 | 第19-33页 |
| ·研究背景 | 第19-20页 |
| ·微观摩擦学的发展与研究 | 第20-23页 |
| ·表面微织构技术 | 第23-28页 |
| ·激光干涉光刻的研究与应用 | 第28-30页 |
| ·课题研究意义及主要内容 | 第30-33页 |
| 2 激光干涉光刻的理论基础与 MATLAB 模拟 | 第33-43页 |
| ·激光干涉的基本理论 | 第33-36页 |
| ·激光干涉光刻的计算机模拟 | 第36-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 3 双光束激光干涉光刻的实验研究 | 第43-61页 |
| ·干涉光刻实验系统及工艺流程 | 第43-47页 |
| ·双光束激光干涉光刻实验结果 | 第47-51页 |
| ·双尺度织构光刻实验结果 | 第51-55页 |
| ·图形转移-化学湿法刻蚀 | 第55-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 4 织构化硅表面的摩擦学特性研究 | 第61-83页 |
| ·原子力显微镜测量原理 | 第61-62页 |
| ·探针-平面接触 | 第62-69页 |
| ·胶体球-平面接触 | 第69-73页 |
| ·粘附机理 | 第73-76页 |
| ·摩擦机理 | 第76-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 5 外电场作用下探针-平面接触微摩擦 | 第83-91页 |
| ·AFM 电控摩擦测试 | 第83-87页 |
| ·电控摩擦机理 | 第87-89页 |
| ·本章小结 | 第89-91页 |
| 6 总结与展望 | 第91-93页 |
| ·总结 | 第91页 |
| ·展望 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-99页 |
| 作者简历 | 第99-101页 |
| 学位论文数据集 | 第101页 |
