图像处理在单晶硅直径检测中的实际应用
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 主要符号表 | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·直拉式单晶硅生长以及发展情况 | 第8-10页 |
| ·单晶硅的市场需求 | 第8-9页 |
| ·直拉式单晶硅的生长 | 第9-10页 |
| ·单晶硅直径检测技术 | 第10-13页 |
| ·Ircon直径测量系统 | 第11-12页 |
| ·SIMS直径扫描系统 | 第12页 |
| ·CCD摄像扫描系统 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-14页 |
| ·课题的研究内容,研究目的和意义 | 第14-15页 |
| ·课题的研究内容 | 第14-15页 |
| ·课题的研究目的和意义 | 第15页 |
| ·本文的组织与安排 | 第15-17页 |
| 第二章 单晶硅的视频采集 | 第17-26页 |
| ·单晶硅视频采集系统的基本组成 | 第17-19页 |
| ·CMOS摄像机 | 第19-25页 |
| ·CMOS传感器的发展过程及原理 | 第19-20页 |
| ·CMOS摄像机的工作原理 | 第20-21页 |
| ·CMOS与CCD摄像机的比较 | 第21-22页 |
| ·摄像机的分辨率与系统精度要求 | 第22-23页 |
| ·本文选择的机型及优势 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 单晶硅的图像处理算法 | 第26-52页 |
| ·图像测量技术的背景和优势 | 第26-27页 |
| ·图像处理算法 | 第27-50页 |
| ·图像预处理 | 第29-34页 |
| ·图像阈值分割 | 第34-39页 |
| ·图像边缘检测技术概述 | 第39页 |
| ·像素级经典边缘检测算子 | 第39-44页 |
| ·亚像素边缘检测概述 | 第44-45页 |
| ·亚像素边缘检测的常见算法 | 第45-47页 |
| ·高斯拟合亚像素边缘检测算法 | 第47-50页 |
| ·提取单晶硅外层边缘 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 单晶硅的直径测量方法 | 第52-59页 |
| ·常用的三种单晶硅直径计算方法 | 第52-56页 |
| ·拟合圆弧亚像素原理获取直径算法 | 第52-53页 |
| ·特征点检测拟合算法 | 第53-54页 |
| ·最小二乘法拟合算法 | 第54-56页 |
| ·本文提出的单晶硅直径计算算法 | 第56-57页 |
| ·几种直径计算方法的比较 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结和展望 | 第59-61页 |
| ·全文工作总结 | 第59-60页 |
| ·研究展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第65-67页 |
| 附件 | 第67页 |
