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GaN宽禁带器件管芯参数提取技术研究
微纳结构材料的制备及其应用性能研究
基于天然DNA自组装图案的尺寸可控微影技术
电容耦合等离子体中离子能量分布的研究
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含螺噁嗪的光致变色薄膜微纳周期结构制备技术研究
基于宏孔硅的三维光子晶体制备技术研究
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三维CuInS2微球的液相法合成及其性能的研究
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硅片超精密磨削减薄工艺基础研究
自支撑金刚石衬底上GaN、AIN薄膜ECR-PEMOCVD法生长研究
金属/SiC半导体接触的SiC表面等离子体改性研究
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