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一般性问题
光刻机双工件台系统数学模型的建立与验证
压印法蓝宝石纳米图形衬底的制备及评价
深紫外浸没式光刻投影物镜设计
PIN结构InAs/GaSb超晶格的MBE生长与性能研究
双工件台光刻机虚拟现实三维仿真平台设计
氢化物气相外延生长GaN厚膜的计算优化与实验研究
基于GeTe合金热电性能改性研究
激光原位图形化诱导分子束外延生长半导体Ⅲ-Ⅴ族材料的探索和研究
激光分子束外延生长GaN薄膜
4H-SiC欧姆接触的高温电学特性研究
分子束外延生长InGaN纳米阵列及物性研究
ZnO薄膜和MgZnO合金薄膜的生长及其特性研究
Co、Mn掺杂ZnO稀磁半导体特性研究
微管气液两相流的淹没喷流特性研究
MEH-PPV/有机电解质界面离子动力学调制与频率依赖可塑性模拟
MOVPE生长GaN的表面吸附和扩散研究
密度泛函理论在晶体掺杂中的应用--Sr和磁性原子掺杂Ca_2Ge材料的第一性原理研究
GaN外延材料三维图形化结构的制备与特性研究
CuFeO2薄膜的制备及其光电催化性能的研究
二维GaSexTe1-x微纳结构的制备、表征与光电性能研究
氧化镓外延薄膜生长及特性研究
Ag/ZnO纳米线肖特基势垒中氧气吸附的光、电双重调控
磁性磨粒的常压烧结法制备及其性能研究
GaN基渐变背势垒双异质结生长研究
微波制备碳化硅及其电磁屏蔽性能研究
Ge基材料改性方法与技术研究
Ⅳ族Ge及GeSn金半接触研究
基于SECS/GEM标准的半导体后段SDT系统设计与实现
工业硅冶炼煤基还原剂制备新工艺研究
晶圆级应变SOI应变机理与应力模型
ZnO基材料及探测器特性研究
半导体晶圆制造自动物料运输系统实时调度方法研究
热毛细效应下熔融硅水平流动及凝固特性分析
载能离子辐照引起GaAs和InGaN光学特性变化的研究
大尺寸HVPE反应器寄生沉积的数值模拟与优化
ZnS掺杂的第一性原理研究
GaN掺杂第一性原理研究
离子束辐照导致InxGa1-xN（0.32≤x≤1.0）薄膜表面形貌及化学组分的变化
晶圆划片机管控一体化系统的研究与开发
CdO多晶块体热电性能优化研究
层状化合物TXTe3的合成及其物理特性
界面对IVA族半导体材料热传导性质影响的计算研究
基于纳米薄膜自卷曲的Ⅲ-Ⅴ族半导体管状功能器件的研究
条型纳米图形衬底结构设计及InP/GaAs材料侧向外延生长
新型单层纳米半导体材料的光电性质研究
硅基p-n结磁电阻特性研究
磁控溅射制备ZnO波导层及Love波湿度传感器的研究
钒掺杂Cd0.9Mn0.1Te晶体生长及其缺陷和光电性能研究
硅晶体电火花线切割伺服控制与工艺研究
锰掺杂硅化镁薄膜的研究
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