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一般性问题
氧化镓基宽禁带材料退火研究
基于啁啾光栅的表面等离子体超分辨光刻间隙检测数值模拟与实验研究
DFN1006新型引线键合设计与实现
二维层状材料的宽带超快三阶非线性光学特性及其应用研究
亚固结磨料线锯挂浆性能研究
石英晶体基片高效精密加工装备控制系统研制
“轮廓加工”工艺及其应用研究
浸没式光刻两级气液分离装置研究
基于振动信号的多线切割机轴承箱故障诊断的研究
基于三种并三噻吩同分异构体的有机半导体材料的制备及其场效应性能研究
基于金属氧化物半导体的电子器件集成
稀土掺杂ZnO纳米光电材料的制备及光电特性研究
溶胶凝胶法制备纳米ZnO及其光催化性能的研究
氧化物半导体/TiO2分级纳米结构的制备及其气敏性能研究
氮化镓/硅纳米孔柱阵列的光致/电致发光特性及其调控
ZnO薄膜及其异质结的制备与研究
二维半导体材料的第一性原理模拟
晶体表面的离子束刻蚀机理研究
纳米电子器件电声相互作用机理研究
多晶硅生产工艺安全评价研究
Beq2和BeBq2有机小分子晶体的制备及特性研究
PECVD氮化硅薄膜性能研究及热学测试结构设计
SiC单晶线锯切片微裂纹损伤深度及翘曲度有限元分析
碳化硅纳米线的电化学储能研究
激光辅助水射流切割单晶硅的微槽特征模型和工艺参数优化研究
环境湿度及刻蚀温度对砷化镓摩擦诱导纳米加工的影响研究
用于仿生自清洁微结构的干涉光刻技术研究
切片机轴承箱实验台设计与滚动轴承弹流润滑研究
运用滴注法实现有机半导体微纳线及其阵列的生长
多晶黑硅纳米绒面结构的调控技术研究
磷化锡及其改性纳微米材料的制备、表征与性能研究
4H-SiC JBS结构设计与优化
氧化石墨烯基复合空穴注入层的设计、制备及特性研究
复合缓冲层GaN基异质结构材料与器件研究
基于VPX总线的工件台运动控制系统研究与开发
金属和非金属共掺锐钛矿相二氧化钛的第一性原理研究
水导激光切割晶圆预对准及水束激光耦合技术研究
炼硅煤质还原剂性能表征及制备流程设计
表面等离子体超分辨光刻间隙检测与调平技术研究
多自由度磁悬浮微动台的基础研究
多重入复杂制造系统的多尺度建模与优化控制研究
新型功率半导体器件的研究及其终端耐压层的利用
有机半导体16，17-二正辛烷氧基紫蒽酮单晶的生长和结构解析
多光束薄膜应力测绘系统的设计
用于硅晶片加工的划刀片结构优化及其工艺研究
基于VxWorks的双工件台实时软件设计
极紫外光源收集系统设计与加工方法研究
射频磁控溅射法制备ZrO2薄膜及其特性研究
双工件台上位机系统的设计与实现
纳米ZnO的电化学制备、掺杂及性能研究
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