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一般性问题
静电层层自组装复合磨粒及其抛光液的抛光特性研究
原子层沉积方法制备非极性面ZnO异质结及其物性研究
基于蓝磷的纳米器件电子输运机理与热电性质研究
CdS/CdSSe纳米异质结构的制备及其光电性质研究
SiC双极型功率半导体器件的驱动电路研究
划片机Y轴及Z轴的设计优化与精度控制
熔盐电解制备锗基和硅基材料
TiO2基异质结纳米复合体系光—电特性实验研究
滑模变结构控制在扫描光刻系统中的应用研究
纳米金刚石薄膜PN结原型器件的制备和性能研究
砂轮划片机关键部件对其精度的影响
ZnxMg1-xO三元复合薄膜光电特性研究
冰粒型固结磨料抛光垫及其研抛性能基础研究
化学气相沉积设备尾气过滤系统的研究与分析
图形化金属基底上的石墨烯CVD生长研究
SMD真空拾取头设计与优化
液滴喷射靶的检测和分析系统
光刻机投影物镜光学镜片的光机热集成分析及软件实现
硅片检测运动平台动力学建模与分析
基于柔性基板的微应变片阵列研究
精密气浮工作台多体动力学仿真与动态特性优化
脉冲激光作用锡靶等离子体的羽辉膨胀过程及辐射光谱研究
浸没光刻机浸液温控系统设计分析与实现
浸液温度控制建模与算法实现
硅量子面表面键合的实验与计算研究
多维光存储记录符光学特性及其基于相变光刻制备方法研究
InP基材料掺杂及组分调制现象的实验研究
基于纳米多孔铜结构的低温热压键合技术研究
AlNiGd金属玻璃相变光刻湿法刻蚀工艺研究
块状半导体材料制备过程的理论和实验研究
碳化硅RSD器件关键工艺探索
硅片检测平台的结构设计与误差测试分析
基于RSD开关的集成模块初探
微纳系统电子束光刻关键技术及相关机理研究
飞秒激光湿法刻蚀硅基微纳结构
微波合成技术制备Cu2ZnSnS4半导体纳米晶及其性能研究
片式LED编带机控制系统的设计与开发
溶剂热合成技术制备铜锌锡硫半导体薄膜
硅晶体薄膜热传导性质的计算机模拟
超声波—微波喷雾热解法制备ITO粉体新技术研究
工业硅冶炼炉的多场耦合模拟和硅冶炼反应过程的研究
基于DLP应用的光刻物镜设计与微型投影机光学系统研究
氧化亚铜基复合半导体材料的制备及其光催化性能研究
有机半导体异质结调控及机理研究
Ⅲ-Ⅴ族半导体纳米结构能谱及其调控
MoS2/Si pn结的制备及其光探测性能研究
GaN和ZnO的自组织生长行为研究及其器件应用
基于瞬态温升技术多通道系统级热阻测试仪研究与开发
新型二维半导体材料与器件的研究
自支撑AlN薄膜的制备及其性质研究
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