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电子束检测方法研究
基于非易失存储器应用的钛基纳米晶制备工艺的研究
多晶硅刻蚀中静电吸盘对产品的影响及其寿命的提高
45纳米掩膜版缺陷的可成像性研究
蚀刻反应腔部件对制程条件影响及控制研究
CSP板级封装在跌落冲击载荷下的可靠性研究
单晶硅纳米结构的TEM内原位拉伸实验研究
新型掺镜钒酸镥钆系列晶体的生长、表征及其激光性能研究
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氮化锌粉末与氮化锌薄膜的制备
掺杂T-ZnO的制备与性能
Ga2O3薄膜的制备及特性研究
磁控溅射法制备MgxNi1-xO薄膜及其表征
AlGaN/GaN异质结构材料与器件研究
超晶格材料的子带结构
线锯切割单晶硅的应力场及损伤层研究
CdSe的水溶液法合成研究
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LEC法生长GaP单晶
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基于飞秒激光技术的硅表面特性研究及光电器件制备
a-Si:H薄膜的MWECR CVD制备及特性研究
高压下半导体的载流子行为
有机半导体材料特性测量及有机场效应管应用的研究
晶圆背面颜色异常的研究
脉冲激光沉积CdO和ZnO基薄膜及其光电性能研究
LEC法生长GaP单晶
掺锗直拉硅单晶中微缺陷的研究
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金刚石衬底上ZnO薄膜的MOCVD生长及SAW器件的初步研究
锗纳米团簇的金属诱导合成及其微结构与性能特征
采用压缩坩埚自由空间方法提高CdZnTe晶体性能的研究
溶胶凝胶法制备二氧化锡气敏薄膜
大高宽比微纳结构制备关键技术研究
基于分形几何的多晶硅陷光结构超声加工方法研究
基于嵌入式的晶圆类型测试系统研制
掺杂对MoS2吸附气体性能的理论研究及N掺杂MoS2的制备
浸没光刻机浸液温控实验装置设计与分析
Design and Simulation of EUVL Contamination Control Equipment
Cu衬底上超细ZnO纳米线的制备及其光学性质研究
半导体QCL的理论研究与有源区结构设计
投影式振镜扫描激光三维刻蚀系统研究
透明导电ZnO薄膜的制备及其SPP调制器研究
用于紫外光电器件高质量AlN模板的MOCVD生长
Ⅲ族氮化物量子点的MOCVD外延生长研究
用于深紫外光电器件的AlxGa1-xN基外延材料生长与掺杂研究
过渡元素掺杂纳米锌基半导体材料的合成及掺杂行为对光/磁特性影响研究
新型块材稀磁半导体La(Zn1-2xMnCux)AsO的制备和物性测量
有机半导体在有序材料表面的吸附结构和电子性质的研究
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