| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 符号对照表 | 第14-15页 |
| 缩略语对照表 | 第15-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-34页 |
| 1.1 SiC材料和器件高温应用的优势 | 第19-21页 |
| 1.1.1 SiC材料特性及其优势 | 第19-20页 |
| 1.1.2 SiC器件及其应用 | 第20-21页 |
| 1.2 SiC欧姆接触的高温特性及热可靠性的研究 | 第21-33页 |
| 1.2.1 高温欧姆接触的研究意义 | 第21-22页 |
| 1.2.2 国内外研究现状 | 第22-32页 |
| 1.2.3 存在的问题 | 第32-33页 |
| 1.3 本论文的主要工作 | 第33-34页 |
| 第二章 SiC欧姆接触理论 | 第34-46页 |
| 2.1 金属-半导体接触理论 | 第34-38页 |
| 2.1.1 欧姆的形成机制 | 第34-36页 |
| 2.1.2 金-半接触的载流子输运机制 | 第36-37页 |
| 2.1.3 比接触电阻 | 第37-38页 |
| 2.2 比接触电阻的测试 | 第38-44页 |
| 2.2.1 常用的比接触电阻测试方法 | 第38-43页 |
| 2.2.2 本文采用的比接触电阻测试方法 | 第43-44页 |
| 2.3 本章小结 | 第44-46页 |
| 第三章 欧姆接触制备与表征 | 第46-58页 |
| 3.1 欧姆接触样品制备 | 第46-54页 |
| 3.1.1 高温离子注入 | 第46-49页 |
| 3.1.2 高温激活退火 | 第49-50页 |
| 3.1.3 金属淀积及图形化 | 第50-52页 |
| 3.1.4 欧姆接触退火 | 第52-54页 |
| 3.2 欧姆接触样品表征 | 第54-56页 |
| 3.2.1 电学特性及热稳定性 | 第54-55页 |
| 3.2.2 表面形貌 | 第55页 |
| 3.2.3 元素分析 | 第55-56页 |
| 3.3 本章小结 | 第56-58页 |
| 第四章 SiC欧姆接触的高温电学特性及热可靠性研究 | 第58-86页 |
| 4.1 欧姆接触金属的选择 | 第58页 |
| 4.2 Pt/Ti/SiC欧姆接触研究 | 第58-68页 |
| 4.2.1 实验结果及其分析 | 第58-62页 |
| 4.2.2 高温电学特性及热可靠性研究 | 第62-68页 |
| 4.3 Pt/TaSi_2/Ni/Ti/Ni/SiC欧姆接触研究 | 第68-77页 |
| 4.3.1 实验结果及其分析 | 第68-73页 |
| 4.3.2 高温电学特性及热可靠性研究 | 第73-77页 |
| 4.4 Pt/TaSi_2/W/Ni/SiC欧姆接触研究 | 第77-84页 |
| 4.4.1 实验结果及其分析 | 第77-81页 |
| 4.4.2 高温电学特性及热可靠性研究 | 第81-84页 |
| 4.5 本章小结 | 第84-86页 |
| 第五章 结论和展望 | 第86-90页 |
| 参考文献 | 第90-98页 |
| 致谢 | 第98-100页 |
| 作者简介 | 第100-101页 |
