基于SECS/GEM标准的半导体后段SDT系统设计与实现
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 半导体自动化研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 SEMI国际标准研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.3 SDT系统研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.4 车间生产调度问题研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 论文研究内容及重难点分析 | 第15-16页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第16-17页 |
| 第二章 半导体后段SDT系统总体设计 | 第17-25页 |
| 2.1 需求分析 | 第17-19页 |
| 2.2 总体方案设计 | 第19-23页 |
| 2.2.1 总体架构 | 第19-21页 |
| 2.2.2 技术架构 | 第21-22页 |
| 2.2.3 数据架构 | 第22-23页 |
| 2.2.4 部署架构 | 第23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 半导体后段生产线调度问题研究 | 第25-35页 |
| 3.1 半导体后段生产线调度模型 | 第25-26页 |
| 3.2 半导体后段生产线调度实例分析 | 第26页 |
| 3.3 半导体后段生产线调度模型求解 | 第26-34页 |
| 3.3.1 遗传算法求解流程 | 第26-28页 |
| 3.3.2 半导体后段生产线调度求解 | 第28-30页 |
| 3.3.3 半导体后段生产线调度算法优化 | 第30-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 SECS/GEM通信模型构建 | 第35-47页 |
| 4.1 SECS/GEM标准框架 | 第35-36页 |
| 4.2 SECS-Ⅰ通信模型 | 第36-39页 |
| 4.2.1 物理链路层 | 第36-37页 |
| 4.2.2 块运输层 | 第37-39页 |
| 4.2.3 消息运输层 | 第39页 |
| 4.3 HSMS通信模型 | 第39-42页 |
| 4.4 SECS-Ⅱ通信模型 | 第42-45页 |
| 4.4.1 SECS-Ⅱ消息划分 | 第42-43页 |
| 4.4.2 SECS-Ⅱ报文格式 | 第43-45页 |
| 4.5 GEM通信模型 | 第45页 |
| 4.6 本章小结 | 第45-47页 |
| 第五章 SECS/GEM通信模块设计与实现 | 第47-67页 |
| 5.1 SECS-Ⅰ通信模块设计与实现 | 第47-54页 |
| 5.1.1 物理链路层 | 第47-50页 |
| 5.1.2 块运输层 | 第50-52页 |
| 5.1.3 消息运输层 | 第52-54页 |
| 5.1.4 SECS-Ⅰ通信模块小结 | 第54页 |
| 5.2 HSMS通信模块设计与实现 | 第54-59页 |
| 5.2.1 TCP通信介绍 | 第55-56页 |
| 5.2.2 TCP套接字接口 | 第56页 |
| 5.2.3 HSMS消息设计 | 第56-57页 |
| 5.2.4 HSMS消息交换 | 第57页 |
| 5.2.5 HSMS消息处理 | 第57页 |
| 5.2.6 HSMS通信模块实现 | 第57-59页 |
| 5.2.7 HSMS通信模块小结 | 第59页 |
| 5.3 SECS-Ⅱ通信模块设计与实现 | 第59-64页 |
| 5.3.1 SECS-Ⅱ消息适配 | 第59-60页 |
| 5.3.2 SECS-Ⅱ消息设计 | 第60-61页 |
| 5.3.3 SECS-Ⅱ消息操作 | 第61-64页 |
| 5.3.4 SECS-Ⅱ通信模块实现 | 第64页 |
| 5.3.5 SECS-Ⅱ通信模块小结 | 第64页 |
| 5.4 GEM通信模块设计与实现 | 第64-66页 |
| 5.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 SDT系统设计、实现与实施 | 第67-79页 |
| 6.1 数据设计 | 第67-70页 |
| 6.1.1 数据库设计 | 第67-68页 |
| 6.1.2 数据交换格式设计 | 第68-69页 |
| 6.1.3 BinCode设计 | 第69-70页 |
| 6.2 文件监控模块设计与实现 | 第70-72页 |
| 6.3 人工管理模块设计与实现 | 第72-73页 |
| 6.4 网络服务模块设计与实现 | 第73-74页 |
| 6.4.1 WebService服务设计与实现 | 第73-74页 |
| 6.4.2 MQ服务设计与实现 | 第74页 |
| 6.5 系统测试和部署 | 第74-78页 |
| 6.5.1 系统测试 | 第74-77页 |
| 6.5.2 系统部署 | 第77-78页 |
| 6.6 本章小结 | 第78-79页 |
| 第七章 总结与展望 | 第79-81页 |
| 7.1 总结 | 第79-80页 |
| 7.2 展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第87页 |
