磁控溅射制备ZnO波导层及Love波湿度传感器的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题的研究背景、目的与意义 | 第9-11页 |
| 1.2 研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 论文结构与内容安排 | 第14-16页 |
| 第二章 ZnO波导层对Love波器件影响 | 第16-26页 |
| 2.1 Love波在ZnO波导层的传播特性 | 第16-18页 |
| 2.2 ZnO波导层生长参数对器件的影响 | 第18-23页 |
| 2.3 ZnO波导层厚度对器件的影响 | 第23-25页 |
| 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 磁控溅射法制备ZnO波导层工艺 | 第26-37页 |
| 3.1 材料的选取 | 第26-27页 |
| 3.2 磁控溅射制备ZnO波导层工艺 | 第27-35页 |
| 3.3 影响ZnO波导层质量的主要参数 | 第35-36页 |
| 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 溅射温度对ZnO波导层及器件的影响 | 第37-44页 |
| 4.1 波导层结晶取向分析 | 第37-38页 |
| 4.2 波导层微结构分析 | 第38-40页 |
| 4.3 波导层应力分析 | 第40-41页 |
| 4.4 Love波器件的频率响应 | 第41-43页 |
| 本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 Love波器件在湿度传感器中的应用 | 第44-51页 |
| 5.1 Love波湿度传感器的测试 | 第44-46页 |
| 5.1.1 测量系统的组成 | 第44-45页 |
| 5.1.2 湿度的测量方法 | 第45-46页 |
| 5.2 湿度传感器的特性分析 | 第46-49页 |
| 5.2.1 传感器的重复性及可靠性分析 | 第46-47页 |
| 5.2.2 传感器的测量范围和灵敏度 | 第47-48页 |
| 5.2.3 传感器的迟滞效应 | 第48-49页 |
| 5.3 传感器质量敏感度 | 第49-50页 |
| 本章小结 | 第50-51页 |
| 总结与展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
