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锰掺杂硅化镁薄膜的研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第8-19页
    1.1 研究意义第8-9页
    1.2 Mg_2Si的基本性质第9-14页
        1.2.1 Mg-Si体系相图第10-11页
        1.2.2 Mg_2Si的光学、电学性质第11-14页
    1.3 Mg_2Si材料的制备与应用第14-16页
        1.3.1 Mg_2Si材料的制备第14-15页
        1.3.2 Mg_2Si材料的应用第15-16页
    1.4 Mg_2Si掺杂的研究现状第16-18页
        1.4.1 Mg_2Si掺杂的理论研究第16-17页
        1.4.2 Mg_2Si掺杂的实验研究第17-18页
    1.5 本文主要研究内容第18-19页
第二章 样品的制备与表征方法第19-28页
    2.1 实验原料的选择和处理第19页
    2.2 样品的制备仪器第19-22页
        2.2.1 真空镀膜机第19-20页
        2.2.2 高真空退火炉第20-21页
        2.2.3 冷却循环水系统第21-22页
    2.3 样品的结构与形貌表征第22-25页
        2.3.1 X射线衍射第22-24页
        2.3.2 原子力显微镜第24页
        2.3.3 扫描电子显微镜第24-25页
    2.4 样品的电学和光学性能测量第25-27页
        2.4.1 霍尔效应测试仪第25-26页
        2.4.2 分光光度计第26-27页
    2.5 本章小节第27-28页
第三章 Mn掺杂Mg_2Si的电子结构及光学性质研究第28-45页
    3.1 理论模型和计算方法第29-32页
        3.1.1 理论模型第29页
        3.1.2 计算方法第29-30页
        3.1.3 光学性质的理论描述第30-32页
    3.2 电子结构第32-38页
        3.2.1 体系优化第32-33页
        3.2.2 能带结构第33页
        3.2.3 电子态密度第33-38页
    3.3 光学性质第38-44页
        3.3.1 复介电函数第38-39页
        3.3.2 吸收谱第39-40页
        3.3.3 反射谱第40-41页
        3.3.4 复折射率第41-43页
        3.3.5 光电导率第43-44页
    3.4 本章小结第44-45页
第四章 Mn掺杂Mg_2Si薄膜的制备与表征第45-54页
    4.1 样品的制备第45页
    4.2 Mn掺杂对Mg_2Si薄膜晶体结构的影响第45-47页
    4.3 Mn掺杂对Mg_2Si薄膜表面形貌的影响第47-49页
        4.3.1 Mn掺杂Mg_2Si薄膜的AFM图第47-48页
        4.3.2 Mn掺杂Mg_2Si薄膜的SEM图第48-49页
    4.4 Mn掺杂对Mg_2Si薄膜电学和光学的研究第49-52页
        4.4.1 Mn掺杂Mg_2Si薄膜的电学性质第49-51页
        4.4.2 Mn掺杂Mg_2Si薄膜的光学性质第51-52页
    4.5 本章小结第52-54页
第五章 总结第54-56页
致谢第56-57页
参考文献第57-61页
附录第61-62页

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