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元素半导体
超导磁场的结构设计与优化
基于导电性变化的单晶硅表面机械损伤检测方法研究
掺杂稀土元素的纳米晶硅薄膜的发光特性研究
异型热管CVD反应器硅烷分解过程流场模拟研究
硅的化学刻蚀及其在光伏中的应用
非晶硅薄膜及其与晶体硅的界面优化研究
单晶硅材料超精密磨削机理研究
微纳双重结构黑硅的制备及光电特性研究
离子液体电沉积法构筑硅锗有序大孔结构
本征和掺硼硅纳米晶的制备、性能及其在硅光子学领域的应用
硅中shuffle型60°位错演化的分子模拟
金属/锗固相反应及接触特性研究
Ge填埋层应力诱导晶化多晶Si薄膜晶化特性研究
改良西门子法多晶硅生产过程的模拟与分析
西门子反应器中传热和多晶硅化学气相沉积的研究
多晶硅清洗工艺的优化
多晶硅生产中氯硅烷高效提纯技术及节能优化研究
高拉速低能耗Φ200mm直拉硅单晶用热场的设计与分析
60对棒多晶硅还原电气系统研究与设计
单晶炉液位检测的曲面镜拟合方法研究
大面积图形化超薄单晶硅的制备及光性能研究
Si(100)和Si(110)表层二阶非线性光学效应的研究
Al-Si合金熔渣精炼制备太阳能级硅的研究
超声波强化浸出含锗渣中锗的实验研究
冶金级硅炉外吹气—熔渣联合精炼除硼、磷的工艺研究
硅包氧化精炼过程气液两相流动行为的分析与优化
直拉硅片的基于快速热处理的内吸杂工艺
300mm直拉单晶硅生长过程中熔体—坩埚边界层的研究
溶液法制备硅纳米线研究
掺杂纳米晶硅液晶光阀光敏层性能研究
金刚石线切割机装配过程可视化的研究
基于PECVD中SiF4/H2/Ar混合气体的材料性能及刻蚀效应研究
熔盐电解制备锗基和硅基材料
硅片检测运动平台动力学建模与分析
硅量子面表面键合的实验与计算研究
硅片检测平台的结构设计与误差测试分析
硅晶体薄膜热传导性质的计算机模拟
工业硅冶炼炉的多场耦合模拟和硅冶炼反应过程的研究
多晶硅生产工艺安全评价研究
多晶黑硅纳米绒面结构的调控技术研究
炼硅煤质还原剂性能表征及制备流程设计
工业硅冶炼煤基还原剂制备新工艺研究
热毛细效应下熔融硅水平流动及凝固特性分析
硅晶体电火花线切割伺服控制与工艺研究
表面微加工多晶硅薄膜热学特性及力学特性在线测试方法研究
八英寸铜化学机械研磨工艺对硅片腐蚀的改善
单晶硅纳米结构的TEM内原位拉伸实验研究
线锯切割单晶硅的应力场及损伤层研究
基于飞秒激光技术的硅表面特性研究及光电器件制备
脉冲激光烧蚀沉积纳米Si晶粒空间分布的电流信号研究
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