| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-33页 |
| 1.1 立题背景 | 第11-14页 |
| 1.1.1 能源危机与太阳能利用 | 第11-13页 |
| 1.1.2 多晶硅产业发展现状 | 第13-14页 |
| 1.2 硅的性质和硅中主要杂质 | 第14-18页 |
| 1.2.1 硅的性质 | 第14-15页 |
| 1.2.2 硅中主要杂质 | 第15-18页 |
| 1.3 太阳能级多晶硅的提纯工艺 | 第18-31页 |
| 1.3.1 化学法 | 第18-22页 |
| 1.3.2 冶金法 | 第22-31页 |
| 1.4 本论文研究的目的与意义 | 第31页 |
| 1.5 本论文研究的内容和创新点 | 第31-33页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第31-32页 |
| 1.5.2 本论文的创新点 | 第32-33页 |
| 第二章 炉外吹气-熔渣联合精炼原理 | 第33-41页 |
| 2.1 造渣剂与精炼气体的选取 | 第33-35页 |
| 2.1.1 造渣剂选择的原则 | 第33-34页 |
| 2.1.2 二元渣体系的选取 | 第34-35页 |
| 2.1.3 三元渣体系的选取 | 第35页 |
| 2.1.4 精炼气体的选取 | 第35页 |
| 2.2 实验原理 | 第35-40页 |
| 2.2.1 冶金级硅造渣精炼 | 第35-37页 |
| 2.2.2 冶金级硅炉外吹气精炼 | 第37-39页 |
| 2.2.3 冶金级硅炉外吹气-熔渣联合精炼 | 第39-40页 |
| 2.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 实验 | 第41-45页 |
| 3.1 试剂及药品 | 第41页 |
| 3.2 实验仪器及设备 | 第41-42页 |
| 3.3 实验方法与流程 | 第42-45页 |
| 第四章 炉外吹气-熔渣联合精炼除硼、磷实验研究 | 第45-69页 |
| 4.1 造渣精炼除硼、磷研究 | 第45-55页 |
| 4.1.1 CaO-SiO_2二元渣精炼 | 第46-49页 |
| 4.1.2 CaO-SiO_2-CaCl_2三元渣精炼 | 第49-54页 |
| 4.1.3 造渣精炼对除磷效果的影响 | 第54-55页 |
| 4.2 炉外吹气精炼除硼、磷研究 | 第55-59页 |
| 4.2.1 Ar-O_2对硼、磷去除效果的影响 | 第56-57页 |
| 4.2.2 Ar-H_2O对硼、磷去除效果的影响 | 第57-58页 |
| 4.2.3 Ar-H_2O-O_2对硼、磷去除效果的影响 | 第58-59页 |
| 4.3 炉外吹气-熔渣联合精炼除硼、磷研究 | 第59-68页 |
| 4.3.1 Ar-O_2与熔渣联合精炼对硼、磷去除效果的影响 | 第60-61页 |
| 4.3.2 Ar-H_2O与熔渣联合精炼对硼、磷去除效果的影响 | 第61-62页 |
| 4.3.3 Ar-H_2O-O_2与熔渣联合精炼对硼、磷去除效果的影响 | 第62-65页 |
| 4.3.4 精炼后渣硅物相与形貌分析 | 第65-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 结论与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 结论 | 第69-70页 |
| 5.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-79页 |
| 致谢 | 第79-81页 |
| 附录 | 第81页 |
