表面微加工多晶硅薄膜热学特性及力学特性在线测试方法研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 MEMS概述 | 第9页 |
| 1.2 表面微加工工艺 | 第9-10页 |
| 1.3 课题背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.4 论文的主要工作 | 第11-13页 |
| 第二章 MEMS材料参数测试方法研究 | 第13-25页 |
| 2.1 热学参数的测试方法研究 | 第13-19页 |
| 2.1.1 直流激励法 | 第13-16页 |
| 2.1.2 交流激励法 | 第16-18页 |
| 2.1.3 激光激励法 | 第18-19页 |
| 2.2 力学参数的测试方法研究 | 第19-24页 |
| 2.2.1 接触测量法 | 第19-20页 |
| 2.2.2 拉伸测量法 | 第20-21页 |
| 2.2.3 被动测量法 | 第21-22页 |
| 2.2.4 静电吸合法 | 第22-23页 |
| 2.2.5 谐振测量法 | 第23-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 多晶硅薄膜热学参数的在线提取 | 第25-33页 |
| 3.1 热传递理论基础 | 第25页 |
| 3.2 热扩散系数在线测试结构 | 第25-29页 |
| 3.2.1 测试结构设计 | 第25-28页 |
| 3.2.2 测试原理 | 第28-29页 |
| 3.3 热导率在线测试结构 | 第29-32页 |
| 3.3.1 测试结构设计 | 第29-31页 |
| 3.3.2 测试原理 | 第31-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 多晶硅薄膜力学参数的在线提取 | 第33-41页 |
| 4.1 杨氏模量在线测试结构 | 第33-38页 |
| 4.1.1 测试结构设计 | 第33-35页 |
| 4.1.2 测试原理 | 第35-38页 |
| 4.2 残余应力在线测试结构 | 第38-40页 |
| 4.2.1 测试结构设计 | 第38-39页 |
| 4.2.2 测试原理 | 第39-40页 |
| 4.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第五章 实验及结果分析 | 第41-57页 |
| 5.1 表面微加工工艺流程 | 第41-44页 |
| 5.2 热扩散系数测试实验 | 第44-48页 |
| 5.2.1 版图设计与测试步骤 | 第44-46页 |
| 5.2.2 实验结果 | 第46-47页 |
| 5.2.3 实验结果分析 | 第47-48页 |
| 5.3 热导率测试实验 | 第48-50页 |
| 5.3.1 版图设计与测试步骤 | 第48-49页 |
| 5.3.2 实验结果 | 第49-50页 |
| 5.3.3 实验结果分析 | 第50页 |
| 5.4 杨氏模量测试实验 | 第50-53页 |
| 5.4.1 版图设计与测试步骤 | 第50-52页 |
| 5.4.2 实验结果 | 第52-53页 |
| 5.4.3 实验结果分析 | 第53页 |
| 5.5 残余应力测试实验 | 第53-56页 |
| 5.5.1 版图设计与测试步骤 | 第53-55页 |
| 5.5.2 实验结果分析 | 第55-56页 |
| 5.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 作者简介 | 第65页 |
