硅片检测平台的结构设计与误差测试分析
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题的来源 | 第8页 |
| 1.2 课题研究目的及意义 | 第8-9页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第9-12页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第12-14页 |
| 2 硅片检测平台总体设计 | 第14-23页 |
| 2.1 设计要求和技术参数 | 第14-17页 |
| 2.2 机械结构总体设计 | 第17-21页 |
| 2.3 电气结构设计 | 第21-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 硅片检测平台关键部件设计、选型与分析 | 第23-36页 |
| 3.1 驱动装置 | 第23-27页 |
| 3.2 重力平衡装置 | 第27-29页 |
| 3.3 导轨的选用、分析与校核 | 第29-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 硅片检测平台Z向测试实验 | 第36-41页 |
| 4.1 实验装置和方法 | 第36-37页 |
| 4.2 实验结果及分析 | 第37-40页 |
| 4.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 5 硅片检测平台的Z向动态误差测试与结构改进 | 第41-51页 |
| 5.1 平台Z向动态误差测试 | 第41-48页 |
| 5.2 硅片检测平台结构改进 | 第48-49页 |
| 5.3 硅片检测平台误差分析和补偿 | 第49-50页 |
| 5.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 6 全文总结与展望 | 第51-52页 |
| 6.1 全文总结 | 第51页 |
| 6.2 研究展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
