| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 引言 | 第11-30页 |
| 1.1 纳米力学中的尺度效应 | 第11-14页 |
| 1.2 纳米结构材料力学性质的实验测量方法 | 第14-25页 |
| 1.3 单晶硅材料纳米结构的力学性质的实验研究 | 第25-28页 |
| 1.4 本研究工作目的及内容概要 | 第28-30页 |
| 第二章 原位拉伸实验装置设计 | 第30-42页 |
| 2.1 应用MEMS 芯片的原位TEM 实验设计思想 | 第30-32页 |
| 2.2 样品杆的设计 | 第32-35页 |
| 2.3 MEMS 力学测试芯片的设计 | 第35-41页 |
| 2.4 小结 | 第41-42页 |
| 第三章 原位拉伸实验装置的制备 | 第42-65页 |
| 3.1 样品杆 | 第42-46页 |
| 3.2 MEMS 力学测试芯片 | 第46-64页 |
| 3.3 小结 | 第64-65页 |
| 第四章 TEM 内原位拉伸实验 | 第65-85页 |
| 4.1 实验装置 | 第65-68页 |
| 4.2 TEM 实验 | 第68-83页 |
| 4.3 小结 | 第83-85页 |
| 第五章 总结与讨论 | 第85-87页 |
| 1. MEMS 力学测试芯片的设计与工艺研究 | 第85页 |
| 2. 设计制备带电极的透射电镜样品杆 | 第85-86页 |
| 3. 对单晶硅纳米悬梁的拉伸实验 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-93页 |
| 附录 金硅键合实验及结果分析 | 第93-105页 |
| 攻读博士学位期间已发表（录用）的论文 | 第105-107页 |
| 致谢 | 第107页 |