多晶硅生产中氯硅烷高效提纯技术及节能优化研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 文献综述 | 第9-29页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-17页 |
| 1.1.1 多晶硅应用及意义 | 第9-10页 |
| 1.1.2 多晶硅发展前景及工艺现状 | 第10-15页 |
| 1.1.3 多晶硅生产中存在的问题 | 第15-17页 |
| 1.2 氯硅烷提纯分离技术发展与应用现状 | 第17-22页 |
| 1.2.1 杂质在氯硅烷中的存在形式 | 第18页 |
| 1.2.2 杂质对多晶硅产品质量的影响 | 第18-19页 |
| 1.2.3 氯硅烷提纯分离技术发展与应用现状 | 第19-22页 |
| 1.3 氯硅烷提纯分离中主要的节能途径 | 第22-26页 |
| 1.3.1 多效精馏 | 第22-23页 |
| 1.3.2 热泵精馏 | 第23-24页 |
| 1.3.3 差压热耦合精馏 | 第24-25页 |
| 1.3.4 高效的填料和新型塔板 | 第25-26页 |
| 1.4 本文研究目的 | 第26-29页 |
| 第2章 新型多孔精馏填料的工业化应用研究 | 第29-45页 |
| 2.1 引言 | 第29页 |
| 2.2 新型多孔精馏填料试验方法 | 第29-30页 |
| 2.3 新型多孔精馏填料试验过程 | 第30-32页 |
| 2.3.1 试验方案 | 第30页 |
| 2.3.2 试验过程 | 第30-32页 |
| 2.4 结果与讨论 | 第32-42页 |
| 2.4.1 全回流试验结果 | 第32-38页 |
| 2.4.2 两塔并行试验结果 | 第38-41页 |
| 2.4.3 节能试验 | 第41-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-45页 |
| 第3章 差压热耦合节能精馏技术工业化应用研究 | 第45-69页 |
| 3.1 差压热耦合节能试验方案 | 第45-47页 |
| 3.2 差压热耦合精馏试验研究方法 | 第47-49页 |
| 3.2.1 模拟方法 | 第47-48页 |
| 3.2.2 精馏单元模拟 | 第48-49页 |
| 3.3 差压热耦合精馏模拟过程 | 第49-65页 |
| 3.3.1 精馏提纯塔的模拟设计及优化 | 第49-55页 |
| 3.3.2 理论模拟与实际生产差异性分析 | 第55-56页 |
| 3.3.3 单塔组差压热耦合 | 第56-59页 |
| 3.3.4 并联塔差压热耦合 | 第59-61页 |
| 3.3.5 双塔组差压热耦合 | 第61-65页 |
| 3.4 结果与讨论 | 第65-67页 |
| 3.4.1 节能效果分析 | 第65-66页 |
| 3.4.2 产品质量对比 | 第66-67页 |
| 3.4.3 产业化应用 | 第67页 |
| 3.5 本章小结 | 第67-69页 |
| 第4章 结论与展望 | 第69-71页 |
| 4.1 结论 | 第69-70页 |
| 4.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
