| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-31页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 黑硅的研究与应用 | 第14-17页 |
| 1.2.1 黑硅的产生过程与形成机理 | 第15-16页 |
| 1.2.2 黑硅的光电性质 | 第16-17页 |
| 1.3 黑硅的国内外研究现状 | 第17-27页 |
| 1.3.1 黑硅制备方法的国内外研究现状 | 第18-23页 |
| 1.3.1.1 反应离子刻蚀 | 第18-19页 |
| 1.3.1.2 电化学腐蚀 | 第19-21页 |
| 1.3.1.3 金属催化酸腐蚀 | 第21-22页 |
| 1.3.1.4 离子注入 | 第22-23页 |
| 1.3.2 黑硅光电器件的国内外研究现状 | 第23-27页 |
| 1.3.2.1 黑硅太阳能电池 | 第23-24页 |
| 1.3.2.2 黑硅光电探测器 | 第24-27页 |
| 1.4 论文的主要工作 | 第27-29页 |
| 1.5 论文的内容安排 | 第29-31页 |
| 第二章 微纳双重结构黑硅的制备 | 第31-47页 |
| 2.1 实验仪器和药品 | 第31-33页 |
| 2.2 微米结构的制备 | 第33-39页 |
| 2.2.1 实验方法 | 第33-36页 |
| 2.2.2 实验结果分析与讨论 | 第36-39页 |
| 2.2.2.1 KOH 各向异性腐蚀机理 | 第36页 |
| 2.2.2.2 微米结构的表面形貌分析 | 第36-39页 |
| 2.3 纳米结构的制备 | 第39-43页 |
| 2.3.1 实验方法 | 第39-40页 |
| 2.3.2 实验结果分析与讨论 | 第40-43页 |
| 2.3.2.1 Au 催化 HF 酸腐蚀机理 | 第40-41页 |
| 2.3.2.2 纳米结构的表面形貌分析 | 第41-43页 |
| 2.4 微纳双重结构黑硅的制备 | 第43-45页 |
| 2.4.1 实验方法 | 第43-44页 |
| 2.4.2 微纳双重结构黑硅的表面形貌分析 | 第44-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-47页 |
| 第三章 微纳双重结构黑硅的光学性能研究 | 第47-60页 |
| 3.1 测试设备与测试方法 | 第47-48页 |
| 3.2 微米结构硅和纳米结构硅的光学性能研究 | 第48-53页 |
| 3.2.1 样品制备 | 第48-49页 |
| 3.2.2 微米结构硅和纳米结构硅的反射谱 | 第49-51页 |
| 3.2.3 微米结构硅和纳米结构硅的禁带宽度 | 第51-53页 |
| 3.3 微纳双重结构黑硅的光学性能研究 | 第53-59页 |
| 3.3.1 微纳双重结构黑硅的反射率和透射率 | 第53-55页 |
| 3.3.2 微纳双重结构黑硅的吸收率以及增吸收机理分析 | 第55-59页 |
| 3.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第四章 微纳双重结构黑硅的电学性能研究 | 第60-76页 |
| 4.1 样品制备 | 第60-61页 |
| 4.2 微纳双重结构黑硅的金-半接触特性 | 第61-64页 |
| 4.2.1 金-半接触的理论分析 | 第61-62页 |
| 4.2.2 实验结果分析与讨论 | 第62-64页 |
| 4.3 微纳双重结构黑硅的霍尔效应测试 | 第64-68页 |
| 4.3.1 霍尔效应以及霍尔效应测试原理 | 第64-65页 |
| 4.3.2 实验结果分析与讨论 | 第65-68页 |
| 4.4 微纳双重结构黑硅的电阻温度变化特性 | 第68-74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-76页 |
| 第五章 微纳双重结构黑硅探测器的光电响应特性研究 | 第76-90页 |
| 5.1 MSM 光电探测器概述 | 第76-78页 |
| 5.2 微纳双重结构黑硅 MSM 光电探测器的制作 | 第78-81页 |
| 5.3 微纳双重结构黑硅 MSM 光电探测器的光电响应特性 | 第81-88页 |
| 5.3.1 纳米结构化时间对光电响应特性的影响 | 第81-84页 |
| 5.3.2 叉指尺寸对光电响应特性的影响 | 第84-88页 |
| 5.3.2.1 暗场特性的分析与讨论 | 第84-86页 |
| 5.3.2.2 响应度的计算与结果讨论 | 第86-88页 |
| 5.4 本章小结 | 第88-90页 |
| 第六章 微纳双重结构黑硅探测器的光电响应特性仿真 | 第90-105页 |
| 6.1 MEDICI 软件介绍 | 第90-91页 |
| 6.2 微纳双重结构黑硅 MSM 光电探测器的仿真 | 第91-97页 |
| 6.2.1 模型建立与参数设置 | 第91-92页 |
| 6.2.2 仿真结果分析与讨论 | 第92-97页 |
| 6.3 微纳双重结构黑硅 PIN 光电探测器的仿真 | 第97-103页 |
| 6.3.1 模型建立与参数设置 | 第97-99页 |
| 6.3.2 仿真结果分析与讨论 | 第99-103页 |
| 6.4 本章小结 | 第103-105页 |
| 第七章 结论与展望 | 第105-109页 |
| 7.1 工作总结 | 第105-107页 |
| 7.2 后续工作及展望 | 第107-109页 |
| 致谢 | 第109-110页 |
| 参考文献 | 第110-121页 |
| 博士在学期间的研究成果 | 第121-123页 |
