60对棒多晶硅还原电气系统研究与设计
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 1 引言 | 第8-11页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-11页 |
| 1.2.1 多晶硅的国内外生产现状 | 第8-9页 |
| 1.2.2 多晶硅还原炉电源系统的国内外技术现状 | 第9-11页 |
| 2 多晶硅还原系统 | 第11-20页 |
| 2.1 高压启动电源 | 第12-15页 |
| 2.1.1 电启动工作原理 | 第12-14页 |
| 2.1.2 高压启动电源组成 | 第14-15页 |
| 2.2 还原加热电源 | 第15-20页 |
| 2.2.1 还原加热电源工作原理 | 第15-17页 |
| 2.2.2 还原加热电源组成 | 第17-20页 |
| 3 电路参数设计 | 第20-26页 |
| 3.1 晶闸管参数计算 | 第20-23页 |
| 3.2 快速熔断器参数计算 | 第23-24页 |
| 3.3 吸收电路参数计算 | 第24-26页 |
| 4 控制系统设计 | 第26-45页 |
| 4.1 控制电路原理及构成 | 第26-28页 |
| 4.1.1 高压启动电源控制部分 | 第26-27页 |
| 4.1.2 还原加热电源控制部分 | 第27-28页 |
| 4.2 叠层控制 | 第28-45页 |
| 4.2.1 叠层控制原理分析 | 第28-34页 |
| 4.2.2 叠层控制的实现 | 第34-36页 |
| 4.2.3 叠层控制仿真分析 | 第36-40页 |
| 4.2.4 叠层控制实验波形 | 第40-42页 |
| 4.2.5 功率因数及谐波测试结果分析 | 第42-45页 |
| 5 SCADA系统 | 第45-49页 |
| 5.1 SCADA系统概述 | 第45页 |
| 5.2 SCADA系统网络构建 | 第45-47页 |
| 5.3 SCADA系统操作界面 | 第47-49页 |
| 6 系统性能提高措施 | 第49-54页 |
| 6.1 稳定性、高可靠性要求 | 第49-50页 |
| 6.2 提高控制性能 | 第50页 |
| 6.3 故障及保护 | 第50-51页 |
| 6.4 碰壁故障检测 | 第51-54页 |
| 6.4.1 故障检测 | 第51-52页 |
| 6.4.2 碰壁故障检测设计 | 第52-54页 |
| 7 结论 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56页 |
