多晶黑硅纳米绒面结构的调控技术研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 引言 | 第9-23页 |
| 1.1 太阳电池简介 | 第9-18页 |
| 1.1.1 太阳电池工艺流程 | 第10-16页 |
| 1.1.2 太阳电池工作原理 | 第16页 |
| 1.1.3 太阳电池性能参数 | 第16-18页 |
| 1.1.4 晶硅太阳电池研究现状 | 第18页 |
| 1.2 黑硅电池简介 | 第18-21页 |
| 1.2.1 黑硅的发展进程 | 第19-20页 |
| 1.2.2 黑硅的制备方法及优缺点 | 第20-21页 |
| 1.3 本文的研究意义及主要内容 | 第21-23页 |
| 1.3.1 本文的研究意义 | 第21页 |
| 1.3.2 本文的研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 黑硅的制备及表征方法 | 第23-31页 |
| 2.1 MCCE两步法制备黑硅 | 第23-26页 |
| 2.1.1 实验准备 | 第23页 |
| 2.1.2 制备流程 | 第23页 |
| 2.1.3 制备原理 | 第23-24页 |
| 2.1.4 实验条件 | 第24-25页 |
| 2.1.5 注意事项 | 第25-26页 |
| 2.1.6 后续处理 | 第26页 |
| 2.2 样品的表征方法 | 第26-31页 |
| 2.2.1 形貌、成分分析仪 | 第26-27页 |
| 2.2.2 反射率测量仪 | 第27-28页 |
| 2.2.3 掺杂浓度分布测试仪 | 第28-29页 |
| 2.2.4 量子效率测试仪 | 第29页 |
| 2.2.5 少子寿命测试仪 | 第29-31页 |
| 第三章 黑硅绒面的调控及性能分析 | 第31-45页 |
| 3.1 绒面调控过程中各参数的影响 | 第31-35页 |
| 3.1.1 温度的影响 | 第31-32页 |
| 3.1.2 KOH浓度的影响 | 第32-33页 |
| 3.1.3 反应时间的影响 | 第33-35页 |
| 3.2 碱液对纳米结构的调控原理 | 第35-36页 |
| 3.3 流片结果 | 第36-37页 |
| 3.4 性能分析--三种电池对比 | 第37-43页 |
| 3.4.1 残留金属Ag颗粒对比 | 第37-38页 |
| 3.4.2 磷掺杂分布对比 | 第38-39页 |
| 3.4.3 SiNx镀膜前后对比 | 第39-42页 |
| 3.4.4 I-V曲线对比 | 第42-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 黑硅结构的其他调控方法 | 第45-54页 |
| 4.1 金属在硅片表面附着的研究 | 第45-51页 |
| 4.1.1 Ag离子液 | 第45-46页 |
| 4.1.2 Cu离子液 | 第46-49页 |
| 4.1.3 Ag/Cu离子混合液 | 第49-51页 |
| 4.2 酸液调控黑硅绒面过程中各参数的影响 | 第51-53页 |
| 4.2.1 不同浓度的酸液的影响 | 第51-52页 |
| 4.2.2 不同反应温度的影响 | 第52-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 总结 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-62页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文及科研成果 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
