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元素半导体
基于分形几何的多晶硅陷光结构超声加工方法研究
硅烯的氢化及电子性质研究
冶金法多晶硅铜沉淀行为研究
新型阳极析氧催化剂耦合半导体Si的光解水性能研究
多晶硅铸锭炉温度场可视化分析及其结构优化
单晶硅生产排产算法的研究与应用
硅基多孔不变形镜的研制
冶金法多晶硅真空定向凝固过程的数值模拟优化及应用研究
亚固结磨料线锯切割过程磨粒运动状态实验研究
利用测量少子寿命再现低温多晶硅背板工艺
超薄太阳能级硅片切割技术研究
硅单晶等径阶段直径模型辨识与控制研究
水平超导磁场下CZ硅单晶固液界面氧分布数值模拟研究
硅表面S钝化机理与特性研究
冲击式多晶硅破碎装置的研究与设计
多场作用下多晶硅定向生长的研究
碲纳米材料的可控制备及其光电响应特性研究
用碳化稻壳电热冶金法制备超冶金级硅的研究
硅铝锌三元合金精炼去除多晶硅中B杂质研究
硅基薄膜在新型器件中的应用
强流脉冲电子束硅材料表面改性和数值模拟
金属硅高温造渣除硼工艺的研究
硅、锗半导体材料电子特性的力学调控研究
自支撑多孔硅及其复合材料的制备与性能研究
面向硅锭电火花多线切割的均衡放电和同步控制技术研究
基于直线电机的半导体材料电火花线切割伺服控制研究
多晶硅提纯与冷坩埚定向凝固过程的温度场和应力场研究
单晶硅表面修饰及其纳米力学行为研究
基于Geant4的硅材料辐照损伤模拟研究
流化床内硅烷裂解制备粒状多晶硅过程的研究:硅颗粒增长的数值模拟与粉尘的热处理实验
基于中压等离子体技术的多晶硅薄膜快速晶化及低温生长
应用于生物传感器的硅基有序多孔硅的研究
大直径硅单晶的制备与数值分析
硅片低温直接键合方法研究
基于分子动力学模拟的硅纳米线谐振特性研究
硅微通道阵列高温氧化及整形技术研究
高分辨率硅微通道板基体制备技术
介电微球诱导激光—化学复合法制备单晶硅表面功能性微结构的研究
温度对单晶硅表面摩擦诱导选择性刻蚀的影响研究
微波强化焙烧含锗中浸渣回收锗的工艺研究
单晶锗微纳米切削脆塑转变机理研究
工业硅中杂质P的强化析出及湿法去除研究
冶金法多晶硅的晶体缺陷演变及电学性能研究
硅单晶热膨胀性质的分子动力学与晶格动力学模拟
单晶硅表面减反射微结构的优化研究
基于KOH腐蚀的单晶硅表面非周期性微纳米结构的制备
单晶硅表面减反射微结构的制备和表征
单晶锗纳米切削机理和切削极限的研究
基于分子动力学模拟和显微表征的聚焦离子束纳米加工基础研究
合金精炼—造渣法提纯冶金硅的研究
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