| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 硅晶体薄膜热传导理论研究的背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 硅晶体薄膜热传导理论研究的现状 | 第11-12页 |
| 1.3 本文的研究内容与结构安排 | 第12-16页 |
| 第2章 分子动力学模拟 | 第16-22页 |
| 2.1 分子动力学模拟的原理 | 第16-18页 |
| 2.2 晶体薄膜热传导性质的分子动力学模拟的发展与现状 | 第18-19页 |
| 2.3 晶体薄膜热传导性质的分子动力学模拟的特点与局限性 | 第19-22页 |
| 第3章 大块晶体的晶格动力学 | 第22-40页 |
| 3.1 晶格动力学的原理 | 第23-28页 |
| 3.2 大块晶体的声子Green函数 | 第28-33页 |
| 3.3 大块硅晶体的晶格动力学矩阵和三次非和谐势能 | 第33-40页 |
| 3.3.1 大块硅晶体的晶格动力学矩阵 | 第33-37页 |
| 3.3.2 大块硅晶体的三次非和谐势能 | 第37-40页 |
| 第4章 硅晶体薄膜晶格动力学与声子Green函数 | 第40-49页 |
| 4.1 晶体薄膜的晶格动力学 | 第40-42页 |
| 4.2 晶体薄膜的声子Green函数 | 第42-45页 |
| 4.3 硅晶体薄膜的晶格动力学矩阵与三次非和谐势能 | 第45-49页 |
| 4.3.1 硅晶体薄膜的晶格动力学矩阵 | 第46-48页 |
| 4.3.2 硅晶体薄膜的三次非和谐势能 | 第48-49页 |
| 第5章 硅晶格薄膜的热传导理论 | 第49-58页 |
| 5.1 Green-Kubo公式 | 第49-52页 |
| 5.2 Hardy能量通量公式 | 第52-54页 |
| 5.3 硅晶体薄膜的热传导系数 | 第54-58页 |
| 第六章 硅晶体薄膜的晶格动力学与热传导性质的模拟结果 | 第58-65页 |
| 6.1 硅和谐晶体的晶格振动波形模拟结果 | 第58-60页 |
| 6.2 和谐硅晶体薄膜的声子频谱模拟结果 | 第60-61页 |
| 6.3 非和谐硅晶体薄膜声子谱线宽度模拟结果 | 第61-62页 |
| 6.4 热传导性质的模拟结果 | 第62-65页 |
| 总结与展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 附录A 大块硅晶体原子力常数矩阵 | 第73-75页 |
| 附录B 硅晶体薄膜力常数矩阵 | 第75-77页 |
| 附录C 硅晶体薄膜三阶非和谐势能 | 第77-81页 |
| 附录D 硅晶体薄膜法向能量通量 | 第81-85页 |
| 致谢 | 第85-87页 |
