浸没光刻机浸液温控实验装置设计与分析
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题来源、论文研究背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.3 论文的主要工作和内容 | 第14-16页 |
| 2 浸液温控实验装置需求分析 | 第16-21页 |
| 2.1 浸没光刻机及浸液温度控制原理 | 第16-17页 |
| 2.2 浸液温度对浸没光刻机性能影响介绍 | 第17-19页 |
| 2.3 性能需求 | 第19-20页 |
| 2.4 其它需求 | 第20页 |
| 2.5 本章小结 | 第20-21页 |
| 3 浸液温度控制方案及实验装置方案设计 | 第21-35页 |
| 3.1 实验装置原理图设计 | 第21页 |
| 3.2 原理图计算与分析 | 第21-24页 |
| 3.3 关键元件参数计算与选型 | 第24-32页 |
| 3.4 实验装置方案设计 | 第32-34页 |
| 3.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 4 浸液控制回路参数仿真与分析 | 第35-52页 |
| 4.1 数值模拟的基本过程 | 第35-41页 |
| 4.2 热交换器建模与网格划分 | 第41-45页 |
| 4.3 流场数值分析 | 第45-50页 |
| 4.4 冷热循环器参数分析 | 第50-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 5 实验装置机械设计 | 第52-58页 |
| 5.1 机械结构设计 | 第52-55页 |
| 5.2 结构分析与计算 | 第55-57页 |
| 5.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 6 总结与展望 | 第58-60页 |
| 6.1 全文总结 | 第58-59页 |
| 6.2 研究展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
