| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 三维激光加工技术的发展与应用 | 第8-10页 |
| 1.2 激光刻蚀加工系统研究进展 | 第10-12页 |
| 1.3 激光刻蚀加工工艺研究进展 | 第12-14页 |
| 1.4 本文主要研究内容及技术路线 | 第14-18页 |
| 2 基于三维 STL 曲面的 LPAGS 系统研究 | 第18-25页 |
| 2.1 投影式激光振镜扫描刻蚀加工(LPAGS)原理 | 第18-20页 |
| 2.2 LPAGS 三维刻蚀系统硬件结构设计 | 第20-22页 |
| 2.3 三维刻蚀系统软件功能设计 | 第22-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 基于三维 STL 曲面的 LPAGS 曲面模型处理 | 第25-38页 |
| 3.1 前言 | 第25-26页 |
| 3.2 三维曲面 STL 模型预处理 | 第26-29页 |
| 3.3 基于多重约束条件的三维 STL 曲面分块投影算法 | 第29-35页 |
| 3.4 三维 STL 曲面分块优化 | 第35-37页 |
| 3.5 小结 | 第37-38页 |
| 4 基于三维 STL 曲面的 LPAGS 系统控制 | 第38-60页 |
| 4.1 前言 | 第38页 |
| 4.2 激光器控制与输出功率研究 | 第38-43页 |
| 4.3 三维曲面分层扫描刻蚀激光加工技术 | 第43-51页 |
| 4.4 “振镜-电机”联动刻蚀加工技术 | 第51-55页 |
| 4.5 三维曲面分层式刻蚀加工的改进算法 | 第55-56页 |
| 4.6 不同刻蚀方法加工效率对比 | 第56-59页 |
| 4.7 本章小结 | 第59-60页 |
| 5 基于三维 STL 曲面的 LPAGS 系统精度与工艺研究 | 第60-77页 |
| 5.1 系统精度分析 | 第60-68页 |
| 5.2 基于直线插值算法的振镜校正系统 | 第68-76页 |
| 5.3 本章小结 | 第76-77页 |
| 6 总结与展望 | 第77-79页 |
| 6.1 本文总结 | 第77-78页 |
| 6.2 展望与建议 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
