| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 概述 | 第14-29页 |
| 1.1 蚀刻简介 | 第16-22页 |
| 1.2 刻蚀反应腔及工作原理 | 第22-26页 |
| 1.3 蚀刻反应腔部件对制程条件影响及控制研究目的、目标与内容 | 第26-29页 |
| 第二章 关键的工艺参数 | 第29-35页 |
| 2.1 压力 | 第29-30页 |
| 2.2 温度 | 第30-31页 |
| 2.3 流量 | 第31-32页 |
| 2.4 功率 | 第32-34页 |
| 小结 | 第34-35页 |
| 第三章 干法蚀刻机器中腔体里的部件的种类功能和关键参数 | 第35-40页 |
| 3.1 LINER（腔体保护体） | 第35-37页 |
| 3.2 ESC(静电吸附盘） | 第37-38页 |
| 3.3 INSERT RING（WAFER 外沿延展环） | 第38-39页 |
| 小结 | 第39-40页 |
| 第四章 腔体部件的各种规格对制程条件的影响及控制 | 第40-61页 |
| 4.1 DOE 方法介绍及应用 | 第40-44页 |
| 4.2 涂层部件表面涂层的条件对良率的影响 | 第44-54页 |
| 4.3 下电极（ESC）的粗糙度对温度的影响及控制 | 第54-57页 |
| 4.4 晶圆外延扩展环（INSERT RING）的厚度对晶圆的影响及控制 | 第57-60页 |
| 小结 | 第60-61页 |
| 第五章 控制部件关键规格方法对工艺的作用 | 第61-65页 |
| 5.1 实时的反馈参数检测和控制 | 第61-63页 |
| 5.2 实时控制系统中腔体关键参数的定义和控制 | 第63-64页 |
| 小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 注释 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第70页 |
