溶胶凝胶法制备二氧化锡气敏薄膜
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题背景 | 第8-9页 |
| 1.2 SnO_2薄膜的气敏机理 | 第9-12页 |
| 1.3 SnO_2薄膜的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 2 SnO_2气敏薄膜制备与表征 | 第14-34页 |
| 2.1 薄膜制备方法 | 第14-20页 |
| 2.2 薄膜生长机理 | 第20-22页 |
| 2.3 实验部分 | 第22-29页 |
| 2.4 薄膜的表征方法 | 第29-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 SnO_2薄膜气敏特性分析 | 第34-51页 |
| 3.1 气敏测试方法 | 第34-35页 |
| 3.2 元件气敏性能参数 | 第35-36页 |
| 3.3 烧结温度与气敏性能的关系 | 第36-41页 |
| 3.4 薄膜厚度与灵敏度的关系 | 第41-42页 |
| 3.5 工作温度与薄膜灵敏度的关系 | 第42-47页 |
| 3.6 薄膜厚度与初始电阻关系 | 第47-48页 |
| 3.7 薄膜厚度与响应恢复特性的关系 | 第48页 |
| 3.8 工作温度与响应恢复特性的关系 | 第48-50页 |
| 3.9 本章小结 | 第50-51页 |
| 4 总结与展望 | 第51-53页 |
| 4.1 主要结论 | 第51-52页 |
| 4.2 本论文创新点以及展望 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
