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磁控溅射法制备MgxNi1-xO薄膜及其表征

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第8-17页
    §1.1 日盲区和日盲材料简介第8-10页
    §1.2 NiO和MgO的性质概述第10-13页
    §1.3 选题的背景和工作目的第13-14页
    §1.4 研究现状和可行性分析第14-17页
第二章 MgxNil-xO薄膜的制备方法及其理论基础第17-23页
    §2.1 目前氧化镍薄膜的主要制备方法简介第17-19页
    §2.2 磁控溅射法的物理基础和重要参数第19-21页
    §2.3 溅射法制备薄膜的优点第21-23页
第三章 样品的制备及分析方法第23-35页
    §3.1 制备设备简介第23-25页
    §3.2 样品的制备过程第25-32页
    §3.3 样品的分析方法第32-35页
第四章 MgxNil-xO薄膜的结构与光学特性第35-46页
    §4.1 衬底材料对MgxNil-xO薄膜的结构性质的影响第35-36页
    §4.2 Mg的含量对MgxNil-xO薄膜的性质的影响第36-40页
    §4.3 制备条件对MgxNil-xO薄膜结构的影响第40-43页
    §4.4 退火温度对MgxNil-xO薄膜结构的影响第43-46页
第五章 结论第46-48页
参考文献第48-51页
致谢第51-52页
学位论文评阅及答辩情况表第52页

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