Design and Simulation of EUVL Contamination Control Equipment
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题来源、研究背景与意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国外极紫外污染控制研究进展 | 第9-11页 |
| 1.3 国外极紫外污染控制实验装置概述 | 第11-13页 |
| 1.4 本文主要研究内容与组织结构 | 第13-15页 |
| 2 极紫外光刻机及其污染介绍 | 第15-25页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 极紫外光刻机原理介绍 | 第15-16页 |
| 2.3 极紫外光刻污染分析 | 第16-21页 |
| 2.4 极紫外光刻污染控制要求 | 第21-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 极紫外污染控制实验装置需求分析 | 第25-31页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 实验目的及预先安排 | 第25-28页 |
| 3.3 系统功能需求 | 第28页 |
| 3.4 接口要求 | 第28页 |
| 3.5 性能要求 | 第28-30页 |
| 3.6 本章小结 | 第30-31页 |
| 4 极紫外污染控制实验装置方案设计与分析 | 第31-42页 |
| 4.1 引言 | 第31页 |
| 4.2 方案设计 | 第31-34页 |
| 4.3 方案选择 | 第34-36页 |
| 4.4 真空泵配置及计算 | 第36-40页 |
| 4.5 气体量计算 | 第40-41页 |
| 4.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 5 极紫外污染控制实验装置结构设计与分析 | 第42-54页 |
| 5.1 引言 | 第42页 |
| 5.2 部分元器件的选型 | 第42-44页 |
| 5.3 整体结构设计与分析 | 第44-48页 |
| 5.4 试样台位置气压分析 | 第48-52页 |
| 5.5 试样台结构设计 | 第52-53页 |
| 5.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 6 总结与展望 | 第54-56页 |
| 6.1 全文总结 | 第54-55页 |
| 6.2 研究展望 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第62-63页 |
| 附录 2 攻读硕士学位期间发表的专利目录 | 第63页 |
