| 摘要 | 第4-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第14-40页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 透明导电薄膜介绍 | 第15-24页 |
| 1.2.1 TCOs电学性质 | 第16-17页 |
| 1.2.2 TCOs光学性质 | 第17-19页 |
| 1.2.3 TCOs材料的发展趋势 | 第19-22页 |
| 1.2.4 TCOs的应用 | 第22-24页 |
| 1.3 CdO薄膜的结构与光电特性 | 第24-27页 |
| 1.3.1 CdO的结构性质 | 第24-25页 |
| 1.3.2 CdO薄膜的电学性质 | 第25-26页 |
| 1.3.3 CdO薄膜的光学性质 | 第26-27页 |
| 1.4 ZnO薄膜的结构与光电特性 | 第27-31页 |
| 1.4.1 ZnO薄膜的结构性质 | 第27-28页 |
| 1.4.2 ZnO薄膜的电学性质 | 第28-29页 |
| 1.4.3 ZnO薄膜的光学性质 | 第29-31页 |
| 1.5 薄膜制备方法 | 第31-37页 |
| 1.5.1 溅射镀膜 | 第31-32页 |
| 1.5.2 喷涂热分解法 | 第32-33页 |
| 1.5.3 溶胶-凝胶法 | 第33-34页 |
| 1.5.4 真空蒸镀膜法 | 第34-35页 |
| 1.5.5 脉冲激光沉积技术 | 第35-37页 |
| 1.6 选题意义与研究内容 | 第37-40页 |
| 第2章 实验内容及表征方法 | 第40-48页 |
| 2.1 实验设备 | 第40-41页 |
| 2.2 实验材料 | 第41页 |
| 2.3 实验方案 | 第41-42页 |
| 2.4 薄膜的分析和光电性能的表征 | 第42-48页 |
| 2.4.1 薄膜的结构与成分分析 | 第42-43页 |
| 2.4.2 薄膜形貌分析 | 第43-45页 |
| 2.4.3 电学性能 | 第45页 |
| 2.4.4 光学性能 | 第45-48页 |
| 第3章 In掺杂CdO透明导电薄膜的光电性能研究 | 第48-59页 |
| 3.1 引言 | 第48-49页 |
| 3.2 实验结果与讨论 | 第49-56页 |
| 3.2.1 In-CdO薄膜的结构分析 | 第49-51页 |
| 3.2.2 In-CdO薄膜的电学性质 | 第51-53页 |
| 3.2.3 In-CdO薄膜的光学性质 | 第53-56页 |
| 3.3 本章小结 | 第56-59页 |
| 第4章 Sn掺杂CdO透明导电薄膜的光电性能研究 | 第59-71页 |
| 4.1 引言 | 第59-60页 |
| 4.2 实验结果与讨论 | 第60-68页 |
| 4.2.1 Sn-CdO薄膜的结构分析 | 第60-63页 |
| 4.2.2 Sn-CdO薄膜的电学性质 | 第63-65页 |
| 4.2.3 Sn-CdO薄膜的光学性质 | 第65-68页 |
| 4.3 透明导电薄膜的性能指数 | 第68-69页 |
| 4.4 讨论 | 第69-70页 |
| 4.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 第5章 Zn_(1-x)Cd_xO薄膜的制备及其光电性能研究 | 第71-83页 |
| 5.1 引言 | 第71-72页 |
| 5.2 实验结果与讨论 | 第72-80页 |
| 5.2.1 Zn_(1-x)Cd_xO薄膜的结构分析 | 第72-75页 |
| 5.2.2 Zn_(1-x)Cd_xO薄膜的光学性质 | 第75-79页 |
| 5.2.3 Zn_(1-x)Cd_xO薄膜的电学性质 | 第79-80页 |
| 5.3 本章小结 | 第80-83页 |
| 第6章 In+Cd共掺杂ZnO薄膜的光电性能研究 | 第83-93页 |
| 6.1 引言 | 第83页 |
| 6.2 实验结果和讨论 | 第83-91页 |
| 6.2.1 Zn_(0.86)Cd_(0.11)In_(0.03)O薄膜的结构分析 | 第83-86页 |
| 6.2.2 Zn_(0.86)Cd_(0.11)In_(0.03)O薄膜的XPS分析 | 第86-88页 |
| 6.2.3 Zn_(0.86)Cd_(0.11)In_(0.03)O薄膜的电学性质 | 第88-89页 |
| 6.2.4 Zn_(0.86)Cd_(0.11)In_(0.03)O薄膜的光学性质 | 第89-91页 |
| 6.3 本章小结 | 第91-93页 |
| 第7章 ZnO/CdO复合薄膜的制备及其光电性能研究 | 第93-103页 |
| 7.1 引言 | 第93页 |
| 7.2 实验过程 | 第93-94页 |
| 7.3 实验结果和讨论 | 第94-101页 |
| 7.3.1 ZnO/CdO薄膜的结构分析 | 第94-96页 |
| 7.3.2 ZnO/CdO薄膜的光学性能 | 第96-98页 |
| 7.3.3 ZnO/CdO薄膜的电学性能 | 第98-101页 |
| 7.4 本章小结 | 第101-103页 |
| 第8章 结论 | 第103-105页 |
| 参考文献 | 第105-119页 |
| 作者简介及在学期间所取得的科研成果 | 第119-120页 |
| 作者简介 | 第119页 |
| 在学期间所取得的科研成果 | 第119-120页 |
| 致谢 | 第120页 |
