| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 引言 | 第9-15页 |
| 1.1 概述 | 第9-10页 |
| 1.2 Zn_3N_2的性质 | 第10-11页 |
| 1.2.1 结构性质 | 第10页 |
| 1.2.2 光学性质 | 第10-11页 |
| 1.3 研究现状 | 第11-14页 |
| 1.4 选题动机 | 第14-15页 |
| 第二章 制备与测量 | 第15-28页 |
| 2.1 Zn_3N_2粉末的制备 | 第15-16页 |
| 2.1.1 Zn_3N_2粉末制备所用设备 | 第15页 |
| 2.1.2 氮化法制备Zn_3N_2粉末 | 第15-16页 |
| 2.2 Zn_3N_2薄膜的制备 | 第16-22页 |
| 2.2.1 溅射原理 | 第16-17页 |
| 2.2.2 溅射系统 | 第17-19页 |
| 2.2.3 靶的压制 | 第19页 |
| 2.2.4 村底与衬底的清洗 | 第19-20页 |
| 2.2.5 溅射法制备Zn_3N_2薄膜 | 第20-22页 |
| 2.3 Zn_3N_2粉末和Zn_3N_2薄膜的测量 | 第22-28页 |
| 2.3.1 结构性质的测量 | 第22-26页 |
| 2.3.2 光学性质的测量 | 第26-28页 |
| 第三章 Zn_3N_2的结构性质 | 第28-41页 |
| 3.1 Zn_3N_2粉末的结构性质 | 第28-30页 |
| 3.2 Zn_3N_2薄膜的结构性质 | 第30-34页 |
| 3.3 溅射功率对Zn_3N_2薄膜结构性质的影响 | 第34-35页 |
| 3.4 溅射时间对Zn_3N_2薄膜结构性质的影响 | 第35-41页 |
| 第四章 Zn_3N_2薄膜的光学性质 | 第41-52页 |
| 4.1 Zn_3N_2薄膜的光学性质 | 第41-45页 |
| 4.2 溅射功率对Zn_3N_2薄膜光学性质的影响 | 第45-47页 |
| 4.3 溅射时间对Zn_3N_2薄膜光学性质的影响 | 第47-52页 |
| 第五章 结论 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第61-62页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第62页 |
