基于分形几何的多晶硅陷光结构超声加工方法研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1. 绪论及背景意义 | 第10-21页 |
| 1.1 太阳能利用背景 | 第10-12页 |
| 1.2 多晶硅加工方法 | 第12-16页 |
| 1.3 硅表面制绒 | 第16-19页 |
| 1.3.1 单晶硅制绒 | 第16-18页 |
| 1.3.2 多晶硅制绒 | 第18-19页 |
| 1.4 超声驻波作用下的多晶硅片腐蚀实验研究 | 第19-20页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第20-21页 |
| 2. 分形几何在多晶硅陷光结构中的应用 | 第21-24页 |
| 2.1 硅表面陷坑结构研究 | 第21-22页 |
| 2.2 基于分形几何的多晶硅表面结构 | 第22-23页 |
| 本章小结 | 第23-24页 |
| 3. 多频率复合变幅杆的设计与有限元分析 | 第24-36页 |
| 3.1 变幅杆尺寸设计 | 第24-28页 |
| 3.2 有限元方法的基本原理 | 第28-30页 |
| 3.2.1 模态分析的原理 | 第29-30页 |
| 3.2.2 Block Lanczos法 | 第30页 |
| 3.3 模态分析的有限元分析过程 | 第30-35页 |
| 3.3.1 有限元分析的前处理 | 第30-31页 |
| 3.3.2 模态分析加载和求解 | 第31页 |
| 3.3.3 模态分析结果 | 第31-33页 |
| 3.3.4 误差分析 | 第33页 |
| 3.3.5 方案改进 | 第33-35页 |
| 本章小结 | 第35-36页 |
| 4. 基于MATLAB的复合声场仿真 | 第36-59页 |
| 4.1 声波的基本方程 | 第36-42页 |
| 4.1.1 描述理想流体的三个基本方程 | 第36-40页 |
| 4.1.2 一维声波方程 | 第40-41页 |
| 4.1.3 三维声波方程 | 第41-42页 |
| 4.2 瑞利积分法 | 第42-43页 |
| 4.3 瑞利积分法的仿真 | 第43-45页 |
| 4.4 超声相控阵 | 第45-48页 |
| 4.4.1 超声相控阵的延迟法则 | 第46-48页 |
| 4.4.2 超声相控阵的仿真 | 第48页 |
| 4.5 复合声场的叠加仿真 | 第48-53页 |
| 4.6 第一阶段仿真结果分析 | 第53-55页 |
| 4.7 第二阶段仿真结果分析 | 第55-58页 |
| 本章小结 | 第58-59页 |
| 5. 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 总结 | 第59-60页 |
| 5.2 展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录 | 第65页 |
