| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 符号说明 | 第7-12页 |
| 1 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 本课题研究背景 | 第12-15页 |
| 1.1.1 电火花加工 | 第12-14页 |
| 1.1.2 电火花加工后工件表面的主要特征 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-22页 |
| 1.2.1 机械磨削去除重铸层 | 第16页 |
| 1.2.2 混粉电火花加工技术 | 第16页 |
| 1.2.3 线锯切割去除重铸层 | 第16-17页 |
| 1.2.4 电解方法去除重铸层 | 第17-22页 |
| 1.3 国内外研究中存在的问题分析 | 第22-23页 |
| 1.4 本课题的研究目的与意义 | 第23页 |
| 1.5 本文的研究内容和技术路线 | 第23-25页 |
| 2 电火花切割金属材料表面再凝固物质去除方法的提出及机理、效果分析 | 第25-47页 |
| 2.1 实验及检测设备 | 第25-28页 |
| 2.1.1 实验平台、工件和电极丝 | 第25-26页 |
| 2.1.2 表面形貌及粗糙度的检测设备和方法 | 第26-28页 |
| 2.2 工作液的选择 | 第28-29页 |
| 2.3 WEDCM方法原理 | 第29-30页 |
| 2.4 WEDCM方法的材料去除机理 | 第30-33页 |
| 2.4.1 电火花切割工件表面形貌特点 | 第30-31页 |
| 2.4.2 WEDCM方法的材料去除机理 | 第31-32页 |
| 2.4.3 加工后工件表面成分 | 第32-33页 |
| 2.5 WEDCM方法效果研究 | 第33-34页 |
| 2.6 WEDCM关键工艺参数分析 | 第34-40页 |
| 2.6.1 电极丝电解阶段的进给速度对工件表面质量的影响 | 第35-37页 |
| 2.6.2 工件移动距离对表面质量的影响 | 第37-38页 |
| 2.6.3 电极丝在电解阶段高速、多次进给溶解去除再凝固物质 | 第38-40页 |
| 2.7 WEDCM的特点及电极丝慢速进给-WEDCM切割的提出 | 第40页 |
| 2.8 慢速进给-WEDCM方法原理 | 第40-41页 |
| 2.9 慢速进给-WEDCM方法的材料去除机理 | 第41-42页 |
| 2.10 慢速进给-WEDCM方法效果研究 | 第42-43页 |
| 2.11 WEDCM和慢速进给-WEDCM两种方法对比 | 第43-45页 |
| 2.12 本章小结 | 第45-47页 |
| 3 WEDCM建模研究 | 第47-63页 |
| 3.1 WEDCM建模的目标 | 第47-48页 |
| 3.2 WEDCM模型的建立 | 第48-52页 |
| 3.2.1 双电层模型和法拉第定律 | 第48-49页 |
| 3.2.2 电解溶解阳极工件材料的体积 | 第49-51页 |
| 3.2.3 电解阶段电极丝的进给速度 | 第51页 |
| 3.2.4 计算过程小结 | 第51-52页 |
| 3.3 模型计算结果及分析 | 第52-54页 |
| 3.4 模型的实验验证 | 第54-58页 |
| 3.5 模型误差分析 | 第58-59页 |
| 3.6 WEDCM中对工件表面粗糙度影响较大的因素分析 | 第59-61页 |
| 3.6.1 电解过程中的电极丝进给速度 | 第59-60页 |
| 3.6.2 工件移动的距离 | 第60-61页 |
| 3.7 本章小结 | 第61-63页 |
| 4 慢速进给-WEDCM建模研究 | 第63-80页 |
| 4.1 慢速进给-WEDCM建模的目标 | 第63-64页 |
| 4.2 慢速进给-WEDCM模型的建立 | 第64-68页 |
| 4.2.1 双电层模型 | 第64-65页 |
| 4.2.2 法拉第电解定律 | 第65-66页 |
| 4.2.3 电极丝合适的进给速度 | 第66-67页 |
| 4.2.4 计算过程小结 | 第67-68页 |
| 4.3 模型计算结果 | 第68页 |
| 4.4 模型的实验验证 | 第68-69页 |
| 4.5 模型误差分析 | 第69-70页 |
| 4.6 电极丝进给速度对表面形貌的影响 | 第70-77页 |
| 4.6.1 工件表面的换向条纹 | 第70-75页 |
| 4.6.2 电极丝慢速进给溶解再凝固物质 | 第75-77页 |
| 4.7 慢速进给-WEDCM和普通电火花慢速切割的不同 | 第77-78页 |
| 4.8 本章小结 | 第78-80页 |
| 5 半导体W-WEDM去除表面凹坑和再凝固物质研究 | 第80-95页 |
| 5.1 半导体W-WEDM原理 | 第80-82页 |
| 5.2 实验材料、设备及方案 | 第82-84页 |
| 5.2.1 实验材料 | 第82页 |
| 5.2.2 实验设备 | 第82-83页 |
| 5.2.3 实验方案 | 第83-84页 |
| 5.3 W-WEDM材料去除机理 | 第84-86页 |
| 5.4 W-WEDM方法去除火花凹坑和再凝固物质 | 第86-88页 |
| 5.5 W-WEDM工件表面划痕及表面成分分析 | 第88-89页 |
| 5.6 切割效率 | 第89-90页 |
| 5.7 切缝宽度 | 第90-93页 |
| 5.8 线锯丝磨损 | 第93-94页 |
| 5.9 本章小结 | 第94-95页 |
| 6 结论与展望 | 第95-98页 |
| 6.1 结论 | 第95-96页 |
| 6.2 创新点 | 第96-97页 |
| 6.3 对未来工作的展望 | 第97-98页 |
| 致谢 | 第98-99页 |
| 参考文献 | 第99-110页 |
| 攻读学位期间主要研究成果 | 第110页 |
