基于光子晶体微腔的超低质量腔光机械系统研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第12-27页 |
| 1.1 微纳机电系统概述 | 第12-15页 |
| 1.2 腔光机械耦合 | 第15-22页 |
| 1.3 超低质量腔光机械系统的研究现状及发展趋势 | 第22-24页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容及创新点 | 第24-27页 |
| 2 基于光子晶体微腔的腔光机械系统的理论基础 | 第27-42页 |
| 2.1 引言 | 第27页 |
| 2.2 光子晶体微腔的理论基础 | 第27-31页 |
| 2.3 纳米机械谐振器的理论基础 | 第31-35页 |
| 2.4 腔光机械耦合的理论基础 | 第35-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 3 硅基腔光机械系统的制备与测试 | 第42-55页 |
| 3.1 制备工艺流程 | 第42-46页 |
| 3.2 电子束曝光及不同精度拼接曝光工艺 | 第46-49页 |
| 3.3 高深宽比狭缝制备工艺 | 第49-51页 |
| 3.4 实验测试系统 | 第51-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 4 基于双狭缝光子晶体微腔的腔光机械系统 | 第55-65页 |
| 4.1 引言 | 第55-56页 |
| 4.2 双狭缝光子晶体微腔的设计 | 第56-58页 |
| 4.3 纳米机械谐振器的设计 | 第58-61页 |
| 4.4 腔光机械耦合分析 | 第61-62页 |
| 4.5 工艺误差对器件性能的影响 | 第62-64页 |
| 4.6 本章小结 | 第64-65页 |
| 5 基于光子晶体纳米梁腔的腔光机械系统 | 第65-81页 |
| 5.1 引言 | 第65-66页 |
| 5.2 腔光机械系统的设计 | 第66-70页 |
| 5.3 器件制备 | 第70-71页 |
| 5.4 实验测试和结果分析 | 第71-80页 |
| 5.5 本章小结 | 第80-81页 |
| 6 基于石墨烯纳米机械谐振器的腔光机械系统 | 第81-102页 |
| 6.1 引言 | 第81-84页 |
| 6.2 空气模式光子晶体微腔 | 第84-89页 |
| 6.3 石墨烯纳米机械谐振器的制备 | 第89-93页 |
| 6.4 腔光机械耦合分析 | 第93-96页 |
| 6.5 实验测试和结果分析 | 第96-98页 |
| 6.6 未来工作 | 第98-101页 |
| 6.7 本章小结 | 第101-102页 |
| 7 工作在水中的飞克量级腔光机械系统 | 第102-118页 |
| 7.1 引言 | 第102-105页 |
| 7.2 腔光机械系统的设计 | 第105-107页 |
| 7.3 器件制备 | 第107-108页 |
| 7.4 实验测试和结果分析 | 第108-112页 |
| 7.5 液体中机械振动的仿真和分析 | 第112-117页 |
| 7.6 本章小结 | 第117-118页 |
| 8 硅基片上集成声子回路器件 | 第118-136页 |
| 8.1 引言 | 第118-120页 |
| 8.2 声子产生 | 第120-124页 |
| 8.3 声子探测 | 第124-127页 |
| 8.4 声子传输 | 第127-129页 |
| 8.5 声子回路 | 第129-135页 |
| 8.6 本章小结 | 第135-136页 |
| 9 总结与展望 | 第136-139页 |
| 致谢 | 第139-141页 |
| 参考文献 | 第141-156页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第156-157页 |
| 附录2 论文中英文缩略词简表 | 第157-158页 |
