基于SECS/GEM标准的半导体封测设备RMS系统设计与实现
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 半导体自动化研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 SEMI国际标准研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.3 设备综合效率研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.4 约束理论研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 论文研究内容及重难点分析 | 第15-16页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第16-18页 |
| 第二章 RMS系统概述与总体设计 | 第18-24页 |
| 2.1 需求分析 | 第18-19页 |
| 2.2 RMS系统概述 | 第19-20页 |
| 2.3 总体方案设计 | 第20-23页 |
| 2.3.1 总体架构 | 第20-21页 |
| 2.3.2 技术架构 | 第21-22页 |
| 2.3.3 逻辑架构 | 第22-23页 |
| 2.3.4 部署架构 | 第23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 SECS/GEM通信模块设计与实现 | 第24-40页 |
| 3.1 SEMI通讯标准框架 | 第24-25页 |
| 3.2 SECS/GEM标准协议分析 | 第25-31页 |
| 3.2.1 SECS-I协议 | 第25-26页 |
| 3.2.2 HSMS协议 | 第26-28页 |
| 3.2.3 SECS-II协议 | 第28-30页 |
| 3.2.4 GEM协议 | 第30-31页 |
| 3.3 SECS/GEM通信模块设计与实现 | 第31-38页 |
| 3.3.1 底层通信实现 | 第31-34页 |
| 3.3.2 消息处理实现 | 第34-36页 |
| 3.3.3 通用功能实现 | 第36-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 RECIPE管理模块设计与实现 | 第40-50页 |
| 4.1 Recipe程序介绍 | 第40-42页 |
| 4.1.1 Recipe结构 | 第40-41页 |
| 4.1.2 参数列表 | 第41-42页 |
| 4.2 Recipe管理流程设计 | 第42-45页 |
| 4.2.1 Recipe上传流程 | 第43页 |
| 4.2.2 Recipe审核流程 | 第43-44页 |
| 4.2.3 Recipe下载流程 | 第44-45页 |
| 4.2.4 Recipe监控流程 | 第45页 |
| 4.3 Recipe管理模块实现 | 第45-49页 |
| 4.3.1 Recipe上传 | 第45-47页 |
| 4.3.2 Recipe下载 | 第47-48页 |
| 4.3.3 Recipe参数监控 | 第48-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 OEE模型的建立与改善 | 第50-70页 |
| 5.1 OEE计算模型建立 | 第50-52页 |
| 5.1.1 计算公式分析 | 第50-51页 |
| 5.1.2 影响OEE的六大损失 | 第51-52页 |
| 5.2 OEE管理模块设计与实现 | 第52-57页 |
| 5.2.1 数据获取 | 第52-54页 |
| 5.2.2 OEE报表实现 | 第54-55页 |
| 5.2.3 OEE损失分析 | 第55-57页 |
| 5.3 基于DBR方法的OEE改善模型建立 | 第57-58页 |
| 5.4 瓶颈设备识别 | 第58-62页 |
| 5.4.1 瓶颈设备识别指标 | 第58-59页 |
| 5.4.2 多属性瓶颈识别模型的构建 | 第59页 |
| 5.4.3 基于TOPSIS方法的瓶颈识别流程 | 第59-61页 |
| 5.4.4 基于熵权法的识别指标权重计算 | 第61-62页 |
| 5.5 缓冲模型的构建 | 第62-66页 |
| 5.5.1 建立时间缓冲模型 | 第62-63页 |
| 5.5.2 基于马尔可夫过程的设备状态分析 | 第63页 |
| 5.5.3 不同工序类型的时间缓冲计算 | 第63-66页 |
| 5.6 OEE模型分析改善实例 | 第66-69页 |
| 5.6.1 瓶颈设备识别实例 | 第66-67页 |
| 5.6.2 缓冲计算实例 | 第67-68页 |
| 5.6.3 改善前后的OEE计算 | 第68-69页 |
| 5.7 本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 RMS系统实现与实施 | 第70-78页 |
| 6.1 数据库设计 | 第70-71页 |
| 6.1.1 Recipe表设计 | 第70-71页 |
| 6.1.2 OEE表设计 | 第71页 |
| 6.2 客户端子系统设计与实现 | 第71-72页 |
| 6.3 服务端子系统设计与实现 | 第72-73页 |
| 6.4 接口设计与实现 | 第73-74页 |
| 6.5 系统测试与实施 | 第74-76页 |
| 6.5.1 系统测试 | 第74-75页 |
| 6.5.2 系统实施 | 第75-76页 |
| 6.6 本章小结 | 第76-78页 |
| 第七章 总结与展望 | 第78-80页 |
| 7.1 总结 | 第78-79页 |
| 7.2 展望 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第84页 |
