| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 主要符号对照表 | 第9-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-34页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-18页 |
| 1.1.1 光刻机应用背景及其发展 | 第10-11页 |
| 1.1.2 光刻机工件台及其性能指标要求 | 第11-16页 |
| 1.1.3 光刻机工件台的两自由度控制方法 | 第16-18页 |
| 1.2 光刻机工件台运动控制方法研究综述 | 第18-29页 |
| 1.2.1 数据驱动前馈控制研究综述 | 第18-22页 |
| 1.2.2 变增益反馈控制研究综述 | 第22-26页 |
| 1.2.3 离散滑模控制研究综述 | 第26-29页 |
| 1.3 课题的研究意义及研究内容 | 第29-34页 |
| 1.3.1 课题来源及研究意义 | 第29-30页 |
| 1.3.2 课题研究问题 | 第30-32页 |
| 1.3.3 课题研究内容 | 第32-34页 |
| 第2章 数据驱动零相位误差跟踪前馈控制研究 | 第34-53页 |
| 2.1 引言 | 第34页 |
| 2.2 问题描述 | 第34-35页 |
| 2.3 数据驱动零相位误差跟踪前馈控制 | 第35-41页 |
| 2.3.1 综合模型信息的参数化结构 | 第35-37页 |
| 2.3.2 结合辅助变量辨识法的参数整定律 | 第37-41页 |
| 2.4 中间变量估计及病态矩阵处理方法 | 第41-46页 |
| 2.4.1 目标函数梯度及Hessian矩阵估计方法 | 第41-43页 |
| 2.4.2 近奇异Hessian矩阵处理方法 | 第43-46页 |
| 2.5 实验验证 | 第46-52页 |
| 2.5.1 光刻机超精密硅片台系统 | 第46-47页 |
| 2.5.2 轨迹跟踪控制实验结果 | 第47-52页 |
| 2.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第3章 基于误差频率特性的变增益反馈控制研究 | 第53-72页 |
| 3.1 引言 | 第53页 |
| 3.2 问题描述 | 第53-55页 |
| 3.3 基于误差频率特性的变增益反馈控制 | 第55-59页 |
| 3.3.1 经典线性反馈控制 | 第55-57页 |
| 3.3.2 附加式变增益反馈控制 | 第57-59页 |
| 3.4 变增益反馈控制系统输入-状态稳定性分析 | 第59-66页 |
| 3.4.1 无模型摄动时的低保守性稳定判据 | 第59-64页 |
| 3.4.2 有模型摄动时的低保守性稳定判据 | 第64-66页 |
| 3.5 仿真与实验验证 | 第66-71页 |
| 3.5.1 闭环稳定域仿真分析 | 第66-68页 |
| 3.5.2 闭环稳定域实验结果 | 第68-71页 |
| 3.6 本章小结 | 第71-72页 |
| 第4章 变增益反馈控制数据驱动加速迭代参数整定方法研究 | 第72-92页 |
| 4.1 引言 | 第72页 |
| 4.2 问题描述 | 第72-74页 |
| 4.3 变增益反馈控制数据驱动参数整定方法 | 第74-80页 |
| 4.3.1 基于L-M法的参数整定律 | 第74-77页 |
| 4.3.2 目标函数梯度及Hessian矩阵估计方法 | 第77-80页 |
| 4.4 变增益反馈控制数据驱动加速迭代参数整定方法 | 第80-82页 |
| 4.4.1 埃特金加速迭代算法 | 第80-81页 |
| 4.4.2 多参数加速迭代算法 | 第81-82页 |
| 4.5 仿真与实验验证 | 第82-90页 |
| 4.5.1 数据驱动加速迭代参数整定结果 | 第83-85页 |
| 4.5.2 轨迹跟踪控制实验结果 | 第85-90页 |
| 4.6 本章小结 | 第90-92页 |
| 第5章 数据驱动变增益离散滑模控制研究 | 第92-112页 |
| 5.1 引言 | 第92页 |
| 5.2 问题描述 | 第92-95页 |
| 5.3 数据驱动变增益离散滑模控制 | 第95-101页 |
| 5.3.1 基于输入-输出模型的离散滑模控制深入分析 | 第95-96页 |
| 5.3.2 数据驱动变增益离散滑模控制设计方法 | 第96-98页 |
| 5.3.3 变增益离散滑模控制系统输入-状态稳定性分析 | 第98-101页 |
| 5.4 非线性切换控制项数据驱动参数整定方法 | 第101-103页 |
| 5.5 实验验证 | 第103-111页 |
| 5.5.1 非线性切换控制项数据驱动参数整定结果 | 第104-105页 |
| 5.5.2 单曝光视场轨迹跟踪实验结果 | 第105-109页 |
| 5.5.3 多曝光视场轨迹跟踪实验结果 | 第109-111页 |
| 5.6 本章小结 | 第111-112页 |
| 第6章 结论与展望 | 第112-116页 |
| 6.1 研究内容总结 | 第112-114页 |
| 6.2 论文主要创新点 | 第114-115页 |
| 6.3 后续研究展望 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-124页 |
| 致谢 | 第124-126页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第126-127页 |
