MOVPE生长AlN的气相反应机理研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 AlN材料 | 第11-12页 |
| 1.2 AlN的MOVPE生长原理 | 第12-14页 |
| 1.3 MOVPE生长AlN的气相反应 | 第14-15页 |
| 1.4 国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.5 存在的问题和本文研究目标 | 第18-20页 |
| 第二章 化学反应动力学和计算化学基础 | 第20-37页 |
| 2.1 反应动力学基础 | 第20-27页 |
| 2.1.1 反应速率方程和质量作用定律 | 第20-22页 |
| 2.1.2 温度对反应速率的影响 | 第22-23页 |
| 2.1.3 碰撞理论 | 第23-25页 |
| 2.1.4 势能面与过渡态理论 | 第25-27页 |
| 2.2 计算化学理论基础 | 第27-32页 |
| 2.2.1 量子力学 | 第27-30页 |
| 2.2.2 化学键能 | 第30页 |
| 2.2.3 密度泛函理论 | 第30-32页 |
| 2.3 Gaussian软件介绍 | 第32-35页 |
| 2.3.1 计算方法 | 第33-34页 |
| 2.3.2 计算基组 | 第34页 |
| 2.3.3 化学反应路径分析方法 | 第34-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 MOVPE生长AlN的加合反应路径 | 第37-54页 |
| 3.1 计算模型 | 第37-38页 |
| 3.2 计算方法的校核 | 第38-42页 |
| 3.3 计算结果与讨论 | 第42-53页 |
| 3.3.1 氨基物DMAlNH2的生成反应 | 第43-45页 |
| 3.3.2 氨基物与NH_3的双分子反应 | 第45-46页 |
| 3.3.3 氨基物的二聚/消去反应 | 第46-49页 |
| 3.3.4 氨基物的三聚/消去反应 | 第49-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 MOVPE生长AlN的氢解反应路径 | 第54-63页 |
| 4.1 计算模型 | 第54-55页 |
| 4.2 计算结果与讨论 | 第55-60页 |
| 4.2.1 TMAl与H2的双分子反应 | 第55-57页 |
| 4.2.2 AlH_3与NH_3的加合反应 | 第57-58页 |
| 4.2.3 AlH_3与NH_3的双分子反应 | 第58-60页 |
| 4.3 键能计算 | 第60-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 全文总结和展望 | 第63-65页 |
| 5.1 全文总结 | 第63-64页 |
| 5.2 展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读硕士学位期间的科研成果 | 第70页 |
