| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第21-37页 |
| 1.1 研究背景 | 第21页 |
| 1.2 微透镜阵列的主要应用场景 | 第21-25页 |
| 1.2.1 成像 | 第22页 |
| 1.2.2 传感 | 第22-23页 |
| 1.2.3 光源 | 第23-25页 |
| 1.2.4 匀光照明 | 第25页 |
| 1.3 微透镜阵列的常用制作方法 | 第25-30页 |
| 1.3.1 精密机械加工 | 第25-26页 |
| 1.3.2 能量束直写 | 第26-27页 |
| 1.3.3 转印 | 第27页 |
| 1.3.4 微滴喷射/喷墨打印 | 第27-28页 |
| 1.3.5 灰度掩膜(传统光刻) | 第28-29页 |
| 1.3.6 刻蚀 | 第29页 |
| 1.3.7 自组装 | 第29-30页 |
| 1.4 无掩膜光刻和热回流 | 第30-35页 |
| 1.4.1 无掩膜光刻 | 第30-33页 |
| 1.4.2 光刻胶热回流(热熔法) | 第33-35页 |
| 1.5 主要研究内容与章节安排 | 第35-37页 |
| 第2章 基于DMD的连续无掩膜光刻系统的实现与优化 | 第37-63页 |
| 2.1 引言 | 第37页 |
| 2.2 数字微反射镜器件(DMD) | 第37-40页 |
| 2.3 连续无掩膜光刻系统的实现与优化 | 第40-51页 |
| 2.3.1 部分相干成像理论 | 第40-41页 |
| 2.3.2 连续无掩膜光刻系统的设计 | 第41-47页 |
| 2.3.3 连续无掩膜光刻系统的实现 | 第47-51页 |
| 2.4 非接触式滚动压印系统的设计与优化 | 第51-62页 |
| 2.4.1 滚动传送装置的设计 | 第51-52页 |
| 2.4.2 光刻系统的设计 | 第52-53页 |
| 2.4.3 控制系统的设计 | 第53-54页 |
| 2.4.4 非接触滚动压印系统的调试与优化 | 第54-62页 |
| 2.5 小结 | 第62-63页 |
| 第3章 形状可控的微透镜阵列及填充因子的提高 | 第63-89页 |
| 3.1 引言 | 第63-64页 |
| 3.2 空间限制热回流相关理论 | 第64-67页 |
| 3.2.1 热回流过程中的体积模型 | 第64-65页 |
| 3.2.2 空间限制热回流过程中的力学分析 | 第65-67页 |
| 3.3 形状可控的微透镜阵列的制作与研究 | 第67-75页 |
| 3.3.1 工艺流程 | 第67-68页 |
| 3.3.2 微透镜轮廓 | 第68-69页 |
| 3.3.3 对微透镜底部直径的精确控制 | 第69-71页 |
| 3.3.4 对微透镜高度的精确控制 | 第71-74页 |
| 3.3.5 光学测试 | 第74-75页 |
| 3.4 球面微透镜阵列填充因子的提高 | 第75-79页 |
| 3.4.1 提高填充因子 | 第75-76页 |
| 3.4.2 空间限制热回流加工高填充因子微透镜阵列 | 第76-79页 |
| 3.5 高填充因子微透镜阵列的制作与表征 | 第79-86页 |
| 3.5.1 高填充因子微透镜阵列的制作 | 第79-82页 |
| 3.5.2 数值孔径的提高 | 第82-83页 |
| 3.5.3 高填充因子微透镜阵列轮廓表征 | 第83-85页 |
| 3.5.4 应用——OLED光学效率的提高 | 第85-86页 |
| 3.6 小结 | 第86-89页 |
| 第4章 几种非球面微透镜阵列的制作 | 第89-111页 |
| 4.1 引言 | 第89页 |
| 4.2 相关理论研究 | 第89-94页 |
| 4.2.1 热板上的温度梯度 | 第89-91页 |
| 4.2.2 热回流过程中的张力分析 | 第91-92页 |
| 4.2.3 无掩膜光刻系统曝光模式 | 第92页 |
| 4.2.4 工艺稳定性 | 第92-93页 |
| 4.2.5 空间限制热回流 | 第93-94页 |
| 4.3 不同的非球面微透镜阵列的制作 | 第94-106页 |
| 4.3.1 制作的工艺流程 | 第94-95页 |
| 4.3.2 高填充因子柱面微透镜阵列的制作 | 第95-101页 |
| 4.3.3 椭球微透镜阵列的制作 | 第101-105页 |
| 4.3.4 半锥面微透镜阵列的制作 | 第105-106页 |
| 4.4 旋转非球面微透镜阵列 | 第106-109页 |
| 4.4.1 不同旋转曲面的设计 | 第107页 |
| 4.4.2 相同参数下的空间限制热回流 | 第107-108页 |
| 4.4.3 选择性热回流/低温热回流 | 第108-109页 |
| 4.5 小结 | 第109-111页 |
| 第5章 倾斜微透镜阵列的制作 | 第111-129页 |
| 5.1 引言 | 第111-112页 |
| 5.2 倾斜微透镜与空间限制热回流 | 第112-116页 |
| 5.2.1 倾斜微透镜 | 第112-113页 |
| 5.2.2 模型与掩膜简化 | 第113-115页 |
| 5.2.3 空间限制热回流的表面整形与保形特性 | 第115-116页 |
| 5.3 不同参数的倾斜微透镜的制作 | 第116-124页 |
| 5.3.1 制作过程 | 第116-117页 |
| 5.3.2 非对称性的保持 | 第117-119页 |
| 5.3.3 不同参数倾斜微透镜阵列的制作 | 第119-122页 |
| 5.3.4 高温与低温空间限制热回流 | 第122-124页 |
| 5.4 倾斜柱面微透镜 | 第124-126页 |
| 5.4.1 工艺流程 | 第124-125页 |
| 5.4.2 倾斜柱面微透镜的制作 | 第125-126页 |
| 5.5 多种微透镜结构的一步成型 | 第126-127页 |
| 5.6 小结 | 第127-129页 |
| 第6章 总结与展望 | 第129-133页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第129-131页 |
| 6.2 主要创新点 | 第131页 |
| 6.3 工作展望 | 第131-133页 |
| 参考文献 | 第133-145页 |
| 致谢 | 第145-147页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第147-148页 |