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聚酰亚胺光刻工艺研究和改进
外延技术的发展与应用
光刻工艺重复图形失效问题分析和防范
大气等离子体加工技术定量去除研究
HVPE法生长厚膜GaN
新型镉基半导体纳米结构的合成与光电性能研究
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浸润式光刻机工艺缺陷数量的优化
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半导体制造中具有重入的双臂组合设备的调度与仿真
TM模808LD外延片MOCVD外延生长研究
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氧化锌铝（AZO）粉体与陶瓷靶材的制备
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SiC晶片精密研磨工艺及其表面损伤研究
基于PMAC焊线机控制系统研究及应用
Ⅲ-Ⅴ族（GaN）和Ⅱ-Ⅵ族（ZnTe）半导体材料的制备及光学特性研究
基于噪声源估计的电机故障诊断研究
P型铜铁矿结构氧化物半导体CuCrO2的掺杂效应及性能研究
面向固晶机的音圈电机优化设计与控制仿真
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ZnO/p-Si异质结制备优化及光电性能研究
投影光刻调焦及DMD无掩模光刻成像研究
利用减薄—键合衬底生长GaN单晶及其缺陷的研究
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