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TM模808LD外延片MOCVD外延生长研究

摘要第3-4页
ABSTRACT第4页
第一章 绪论第7-13页
    1.1 半导体激光器的发展第7-9页
    1.2 半导体激光器的应用第9-10页
    1.3 小结第10-13页
第二章 TM 模 808nm 激光器外延片的设计与分析第13-23页
    2.1 AlGaAs 与 GaAsP 材料参数与光学、电学特性第13-16页
        2.1.1 AlGaAs 材料的晶格常数与材料带隙第13-14页
        2.1.2 AlGaAs 材料的折射率第14-15页
        2.1.3 GaAsP 材料的晶格常数与材料带隙第15-16页
    2.2 半导体激光器的基本结构第16页
    2.3 TM 模 808 激光器有源层的设计第16-19页
        2.3.1 TE 模式与 TM 模式的区别与优缺点第16-18页
        2.3.2 张应变 GaAsP 材料的临界厚度第18-19页
    2.4 TM 模 808 激光器波导层的设计第19-21页
    2.5 小结第21-23页
第三章 TM 模 808nm 激光器外延结构模拟分析第23-31页
    3.1 TM 模式激光器外延材料及结构设计第23-24页
    3.2 激光器外量子效率变化模拟分析第24-26页
    3.3 非对称限制波导结构的设计与分析第26-30页
    3.4 小结第30-31页
第四章 TM 模 808nm 激光器外延片 MOCVD 生长研究第31-49页
    4.1 MOCVD 设备概述第31-34页
    4.2 有源层 GaAsP 材料的生长研究第34-43页
        4.2.1 半导体激光器外延材料常用表征方法第34-38页
        4.2.2 不同生长温度对固相中砷磷比的影响第38-39页
        4.2.3 定温下气相砷磷比与固相中砷磷比的关系第39-41页
        4.2.4 不同量子阱厚度对模式的影响第41-43页
    4.3 TM 模 808nm 激光器外延片生长第43-47页
        4.3.1 GaAsP 量子阱生长质量分析与厚度确定第43-44页
        4.3.2 不同量子阱厚度与应变量对激光器模式的影响第44-47页
        4.3.3 不同波导层厚度对激光器效率的影响第47页
    4.4 小结第47-49页
第五章 TM 模 808nm 半导体激光器性能分析第49-57页
    5.1 半导体激光器工艺概述第49-52页
    5.2 激光器模式测试第52-53页
    5.3 静态参数分析第53-55页
    5.4 激光器老化参数分析第55-56页
    5.5 小结第56-57页
第六章 总结与展望第57-59页
致谢第59-61页
参考文献第61-64页

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