| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| Content | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-24页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第14-17页 |
| 1.1.1 半导体制造产业的发展现状 | 第14-16页 |
| 1.1.2 晶圆制造工艺概述 | 第16-17页 |
| 1.2 组合设备调度问题概述 | 第17-20页 |
| 1.2.1 自动化组合设备 | 第17-18页 |
| 1.2.2 组合设备系统控制复杂性分析 | 第18-19页 |
| 1.2.3 国内外研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3 相关调度问题研究 | 第20-22页 |
| 1.4 本文研究内容和组织结构 | 第22-23页 |
| 1.4.1 论文的研究内容 | 第22页 |
| 1.4.2 论文的组织结构 | 第22-23页 |
| 1.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 组合设备的Petri网建模 | 第24-32页 |
| 2.1 系统的Petri网建模 | 第24-25页 |
| 2.1.1 带重入工艺的晶圆加工过程描述 | 第24页 |
| 2.1.2 有限容量的Petri网 | 第24-25页 |
| 2.2 对机械手的建模 | 第25-26页 |
| 2.3 对加工模式的建模 | 第26-30页 |
| 2.4 对活动时间的建模 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 带重入加工的双臂组合设备的调度分析 | 第32-42页 |
| 3.1 基于3-晶圆调度方法的分析 | 第32-35页 |
| 3.1.1 基于3-晶圆调度方法下机械手和系统状态描述 | 第32-33页 |
| 3.1.2 基于3-晶圆调度方法下系统的生产周期分析 | 第33-35页 |
| 3.2 基于2-晶圆调度方法的分析 | 第35-41页 |
| 3.2.1 基于2-晶圆调度方法下机械手和系统状态描述 | 第35-36页 |
| 3.2.2 基于2-晶圆调度方法的仿真算法开发 | 第36-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 基于3-晶圆调度方法的仿真模型建立 | 第42-55页 |
| 4.1 eM-Plant简介 | 第42-43页 |
| 4.2 3-晶圆调度方法仿真模型 | 第43-53页 |
| 4.2.1 模型框架 | 第43-45页 |
| 4.2.2 初始状态模拟 | 第45-47页 |
| 4.2.3 机械手控制 | 第47-50页 |
| 4.2.4 PM控制出入控制 | 第50-52页 |
| 4.2.5 系统加工周期记录 | 第52-53页 |
| 4.2.6 参数化界面 | 第53页 |
| 4.3 仿真实例 | 第53-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 基于2-晶圆调度方法的仿真模型建立 | 第55-71页 |
| 5.1 基于eM-Plant的仿真模型建立 | 第55-68页 |
| 5.1.1 调度1仿真模型建立 | 第55-65页 |
| 5.1.2 调度2仿真模型建立 | 第65-68页 |
| 5.2 仿真实例 | 第68-70页 |
| 5.3 本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 实例分析 | 第71-80页 |
| 6.1 实例一 | 第71-72页 |
| 6.2 实例二 | 第72-74页 |
| 6.3 实例三 | 第74-75页 |
| 6.4 实例四 | 第75-76页 |
| 6.5 实例五 | 第76-78页 |
| 6.6 实例六 | 第78-79页 |
| 6.7 本章小结 | 第79-80页 |
| 总结与展望 | 第80-82页 |
| 总结 | 第80页 |
| 展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-87页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第87-89页 |
| 致谢 | 第89页 |
