生产型MOCVD电气控制系统的研发
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 引言 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外MOCVD设备的现状 | 第8-14页 |
| 1.2.1 国外MOCVD设备及其控制系统 | 第8-13页 |
| 1.2.2 国内MOCVD设备研发现状 | 第13-14页 |
| 1.3 课题的来源及研究意义 | 第14-15页 |
| 1.4 本文主要研究工作和结构安排 | 第15-17页 |
| 1.4.1 主要工作 | 第15页 |
| 1.4.2 论文结构 | 第15-17页 |
| 第2章 MOCVD控制系统方案研究 | 第17-24页 |
| 2.1 MOCVD系统工作原理 | 第17页 |
| 2.2 MOCVD系统的控制方案 | 第17-20页 |
| 2.2.1 自主研发37片机控制方案 | 第18-19页 |
| 2.2.2 61片机MOCVD控制系统方案 | 第19-20页 |
| 2.3 MOCVD控制系统组成 | 第20-23页 |
| 2.3.1 反应室控制子系统 | 第20-21页 |
| 2.3.3 I/O模块及安全控制子系统 | 第21-22页 |
| 2.3.4 自动操作控制子系统 | 第22-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 电气控制系统设计 | 第24-41页 |
| 3.1 电气设计软件 | 第24-25页 |
| 3.2 电气元器件选型 | 第25-27页 |
| 3.3 系统电气控制回路设计 | 第27-39页 |
| 3.3.1 电气主回路 | 第28-32页 |
| 3.3.2 控制回路 | 第32-39页 |
| 3.4 伴热带温控的电气设计 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 系统DeviceNet总线设计 | 第41-54页 |
| 4.1 DeviceNet总线概述 | 第41-42页 |
| 4.2 系统DeviceNet硬件设计 | 第42-45页 |
| 4.3 系统DeviceNet软件设计 | 第45-53页 |
| 4.3.1 系统DeviceNet组态 | 第45-50页 |
| 4.3.2 系统DeviceNet编程 | 第50-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 PLC程序设计 | 第54-63页 |
| 5.1 PLC系统模块的建立与连接 | 第54-55页 |
| 5.2 喷头刷PLC程序设计 | 第55-59页 |
| 5.3 机械手PLC程序设计 | 第59-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第6章 系统人机界面程序设计 | 第63-71页 |
| 6.1 人机界面概述 | 第63页 |
| 6.2 HMI的画面设计 | 第63-68页 |
| 6.3 HMI组态与通讯 | 第68-70页 |
| 6.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第7章 结论与展望 | 第71-73页 |
| 7.1 全文总结 | 第71-72页 |
| 7.2 展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 附录A 系统DeviceNet程序(部分) | 第77-79页 |
| 附录B 自动喷头刷程序 | 第79-82页 |
| 附录C 机械手程序 | 第82-83页 |
