| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 1. 绪论 | 第10-25页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 ZnO的基本结构及掺杂理论 | 第11-12页 |
| 1.2.1 ZnO的晶体结构 | 第11页 |
| 1.2.2 ZnO晶体的掺杂 | 第11-12页 |
| 1.3 ZnO的典型性能 | 第12-15页 |
| 1.3.1 导电性能 | 第12-13页 |
| 1.3.2 透光性能 | 第13页 |
| 1.3.3 光致发光性能 | 第13-14页 |
| 1.3.4 红外发射性能 | 第14页 |
| 1.3.5 光催化性能 | 第14-15页 |
| 1.4 ZnO粉体的制备技术 | 第15-17页 |
| 1.4.1 溶胶-凝胶法 | 第15-16页 |
| 1.4.2 水热法 | 第16页 |
| 1.4.3 沸腾回流法 | 第16页 |
| 1.4.4 共沉淀法 | 第16-17页 |
| 1.4.5 喷雾热解法 | 第17页 |
| 1.5 高分子网络凝胶法 | 第17-19页 |
| 1.5.1 高分子网络凝胶法的特征 | 第17-18页 |
| 1.5.2 高分子网络凝胶法的应用 | 第18-19页 |
| 1.6 Al掺杂ZnO(AZO)陶瓷靶材的制备与研究现状 | 第19-24页 |
| 1.6.1 ZnO陶瓷的烧结机理 | 第19-21页 |
| 1.6.1.1 烧结驱动力 | 第20页 |
| 1.6.1.2 烧结致密化 | 第20-21页 |
| 1.6.2 AZO陶瓷的烧结方法 | 第21-23页 |
| 1.6.2.1 常压固相烧结 | 第21页 |
| 1.6.2.2 热压烧结 | 第21页 |
| 1.6.2.3 微波烧结法 | 第21-22页 |
| 1.6.2.4 热等静压烧结 | 第22-23页 |
| 1.6.2.5 放电等离子烧结(SPS) | 第23页 |
| 1.6.2.6 常压两步烧结法(TSS) | 第23页 |
| 1.6.3 AZO靶材的性能的研究现状 | 第23-24页 |
| 1.7 本论文的研究意义与主要内容 | 第24-25页 |
| 2. 实验与测试 | 第25-30页 |
| 2.1 实验原料与设备 | 第25页 |
| 2.1.1 实验原料 | 第25页 |
| 2.1.2 实验设备与仪器 | 第25页 |
| 2.2 实验方法 | 第25-28页 |
| 2.2.1 AZO粉体的制备 | 第25-27页 |
| 2.2.2 AZO陶瓷靶材的制备 | 第27-28页 |
| 2.3 性能表征与测试 | 第28-30页 |
| 3. 氧化锌铝(AZO)粉体的制备与光学性能分析 | 第30-45页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 AZO粉体前躯体的热分析 | 第30-31页 |
| 3.3 掺杂溶度对AZO粉体结构与光学性能的影响 | 第31-37页 |
| 3.3.1 AZO粉体的XRD分析 | 第31-33页 |
| 3.3.2 AZO粉体的形貌分析 | 第33-35页 |
| 3.3.3 AZO粉体的光学性能 | 第35-37页 |
| 3.3.3.1 AZO粉体的紫外吸收性能 | 第35-36页 |
| 3.3.3.2 AZO粉体的光致发光(PL)性能 | 第36-37页 |
| 3.4 煅烧工艺对AZO粉体结构与光学性能的影响 | 第37-44页 |
| 3.4.1 AZO粉体的XRD表征 | 第37-38页 |
| 3.4.2 AZO粉体的XPS能谱分析 | 第38-39页 |
| 3.4.3 AZO粉体的形貌分析 | 第39-41页 |
| 3.4.4 AZO粉体的光学性能 | 第41-44页 |
| 3.4.4.1 AZO粉体的紫外吸收性能 | 第41-42页 |
| 3.4.4.2 AZO粉体的光致发光(PL)性能 | 第42-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 4. AZO陶瓷靶材的二步烧结 | 第45-61页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 烧结曲线 | 第45-48页 |
| 4.3 AZO陶瓷靶材的物相分析 | 第48-49页 |
| 4.4 烧结工艺对AZO陶瓷靶材结构与性能的影响 | 第49-60页 |
| 4.4.1 升温速率对靶材相对密度的影响 | 第49-53页 |
| 4.4.2 保温温度T_2对靶材性能的影响 | 第53-57页 |
| 4.4.2.1 对靶材相对密度的影响 | 第53-56页 |
| 4.4.2.2 对电阻率的影响 | 第56-57页 |
| 4.4.3 烧结温度T1对靶材性能的影响 | 第57-60页 |
| 4.4.3.1 对相对密度的影响 | 第57-59页 |
| 4.4.3.2 对电阻率的影响 | 第59-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 5. 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文情况 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |