光刻机软件自动化测试工具的设计与实现
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 软件自动化测试的优势 | 第12-14页 |
| 1.2 软件测试自动化在国内现状 | 第14-15页 |
| 1.3 软件测试自动化在国外现状 | 第15-16页 |
| 1.4 自动化测试过程 | 第16-18页 |
| 1.5 商用自动化测试工具调研 | 第18-20页 |
| 2 光刻机软件概述 | 第20-32页 |
| 2.1 光刻机软件系统架构 | 第20-22页 |
| 2.2 光刻机软件系统范围 | 第22-23页 |
| 2.3 光刻机软件功能和业务分解 | 第23-26页 |
| 2.4 光刻机软件主要参数 | 第26-30页 |
| 2.4.1 ARAMS | 第27页 |
| 2.4.2 OEE | 第27-28页 |
| 2.4.3 Productivity | 第28-29页 |
| 2.4.4 产出良率 | 第29-30页 |
| 2.5 光刻机软件异常恢复和数据采集 | 第30-32页 |
| 3 测试工具设计需求 | 第32-38页 |
| 3.1 设计背景 | 第32-33页 |
| 3.2 测试方法 | 第33-34页 |
| 3.3 需求概述 | 第34-35页 |
| 3.4 工具总体设计 | 第35-36页 |
| 3.5 性能需求 | 第36-38页 |
| 4 测试工具实现 | 第38-59页 |
| 4.1 整体框架设计 | 第38-39页 |
| 4.2 测试公共库模块 | 第39-48页 |
| 4.2.1 通讯模块 | 第39-43页 |
| 4.2.2 通信机制 | 第43页 |
| 4.2.3 数据处理 | 第43-46页 |
| 4.2.4 错误设计 | 第46-47页 |
| 4.2.5 拓展性 | 第47-48页 |
| 4.3 数据服务模块 | 第48-50页 |
| 4.4 代码生成模块 | 第50-52页 |
| 4.5 测试驱动模块 | 第52-54页 |
| 4.6 配置文件 | 第54-55页 |
| 4.7 测试需求、用例和数据 | 第55-59页 |
| 4.7.1 测试需求 | 第55-56页 |
| 4.7.2 测试用例 | 第56-57页 |
| 4.7.3 测试数据 | 第57-59页 |
| 5 测试工具实际应用 | 第59-73页 |
| 5.1 测试实现 | 第59-64页 |
| 5.1.1 测试对象 | 第59页 |
| 5.1.2 测试风险和终止条件 | 第59-61页 |
| 5.1.3 测试需求和用例 | 第61-63页 |
| 5.1.4 测试数据 | 第63-64页 |
| 5.2 测试执行与结果分析 | 第64-71页 |
| 5.2.1 测试执行 | 第64-65页 |
| 5.2.2 测试分析和缺陷率 | 第65-67页 |
| 5.2.3 缺陷统计 | 第67-71页 |
| 5.3 工具可靠性评估与结论 | 第71-73页 |
| 6 总结与展望 | 第73-76页 |
| 6.1 总结 | 第73-74页 |
| 6.2 展望 | 第74-76页 |
| 7 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-78页 |
