大气等离子体加工技术定量去除研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 表面超精加工方法研究现状 | 第9-12页 |
| 1.3 大气等离子体加工技术国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 加工原理及系统组成 | 第16-27页 |
| 2.1 等离子体射流加工原理 | 第16-20页 |
| 2.1.1 等离子体产生方式 | 第16-17页 |
| 2.1.2 等离子体射流加工方法 | 第17-19页 |
| 2.1.3 计算机控制定量加工原理 | 第19-20页 |
| 2.2 加工系统组成 | 第20-26页 |
| 2.2.1 系统总体构成及功能 | 第20-21页 |
| 2.2.2 等离子体发生器结构 | 第21-25页 |
| 2.2.3 加工系统其他组成部分 | 第25-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 等离子体射流加工效果影响因素研究 | 第27-41页 |
| 3.1 等离子体射流发射光谱分析 | 第27-29页 |
| 3.2 工艺参数对去除效率影响 | 第29-34页 |
| 3.2.1 加载功率 | 第29-31页 |
| 3.2.2 反应气体流量 | 第31-33页 |
| 3.2.3 氧气流量 | 第33-34页 |
| 3.3 工艺参数对沉积形成影响 | 第34-39页 |
| 3.3.1 沉积热稳定性及氧气影响 | 第34-36页 |
| 3.3.2 配比及距离正交试验 | 第36-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 等离子体射流化学反应过程分析 | 第41-51页 |
| 4.1 等离子体中基本化学反应机理 | 第41-45页 |
| 4.1.1 电子碰撞反应 | 第42-44页 |
| 4.1.2 三体化合反应 | 第44-45页 |
| 4.1.3 详细反应速率常数计算 | 第45页 |
| 4.2 化学反应模拟结果分析 | 第45-49页 |
| 4.2.1 加工距离对沉积生成影响 | 第45-48页 |
| 4.2.2 气体配比对活性粒子及沉积影响 | 第48-49页 |
| 4.3 本章小结 | 第49-51页 |
| 第5章 等离子体射流定量去除模拟及实验 | 第51-63页 |
| 5.1 去除轮廓形式 | 第51-53页 |
| 5.2 驻留时间算法 | 第53-58页 |
| 5.2.1 驻留点密度和离散点密度 | 第55-57页 |
| 5.2.2 边缘不均匀消除 | 第57-58页 |
| 5.3 定量去除加工实验 | 第58-62页 |
| 5.3.1 定量重复性验证 | 第58-60页 |
| 5.3.2 实际去除加工效果 | 第60-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录 | 第68-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
