半导体材料测试仪器的设计与制作
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 半导体材料介绍 | 第8页 |
| 1.2 半导体材料的发展历程 | 第8-9页 |
| 1.3 半导体材料的应用及产业现状 | 第9页 |
| 1.4 半导体电阻率和电动势率简介 | 第9-10页 |
| 1.5 智能炉温控制系统研究概述 | 第10-11页 |
| 1.6 设计内容与设计要求 | 第11-12页 |
| 第二章 系统原理及方案设计 | 第12-17页 |
| 2.1 系统基本原理介绍 | 第12页 |
| 2.2 控制系统方案设计 | 第12页 |
| 2.3 电阻率测量原理 | 第12-14页 |
| 2.4 电动势率测量原理 | 第14-17页 |
| 第三章 系统硬件概述 | 第17-29页 |
| 3.1 系统框图 | 第17-18页 |
| 3.2 智能炉温控制系统的硬件组成 | 第18-24页 |
| 3.2.1 主控芯片 | 第18页 |
| 3.2.2 温度传感器 | 第18-19页 |
| 3.2.3 温度转换模块 | 第19-21页 |
| 3.2.4 滤波放大电路 | 第21-22页 |
| 3.2.5 A/D 采集模块 | 第22-23页 |
| 3.2.6 固态继电器 | 第23-24页 |
| 3.3 测量系统的硬件组成 | 第24-29页 |
| 3.3.1 测量电路 | 第24-25页 |
| 3.3.2 方波发生器 | 第25页 |
| 3.3.3 信号放大模块 | 第25-27页 |
| 3.3.4 多通道采集电路 | 第27-29页 |
| 第四章 控制算法 | 第29-38页 |
| 4.1 PID 控制算法 | 第29-31页 |
| 4.2 史密斯预估控制算法 | 第31-33页 |
| 4.3 大林算法 | 第33-34页 |
| 4.4 本系统控制算法的选择 | 第34-38页 |
| 4.4.1 电加热炉的数学模型 | 第35-36页 |
| 4.4.2 系统控制算法 | 第36-38页 |
| 第五章 软件控制 | 第38-42页 |
| 5.1 炉温控制的软件实现 | 第38-39页 |
| 5.2 测量控制的软件实现 | 第39-42页 |
| 第六章 实验结果分析 | 第42-45页 |
| 6.1 炉温控制结果分析 | 第42页 |
| 6.2 电阻率测量和电动势率测量结果分析 | 第42-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第48-49页 |
| 详细摘要 | 第49-53页 |
