| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 磷化铟材料性质 | 第11-12页 |
| 1.3 富磷 InP 体材料研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 本论文主要内容 | 第14-16页 |
| 第二章 磷化铟晶体的合成与生长技术 | 第16-24页 |
| 2.1 磷化铟多晶合成方法 | 第16-19页 |
| 2.1.1 磷注入合成技术 | 第16-17页 |
| 2.1.2 溶质扩散法 | 第17-18页 |
| 2.1.3 水平布里奇曼和水平梯度凝固法 | 第18-19页 |
| 2.2 磷化铟单晶生长工艺 | 第19-24页 |
| 2.2.1 液封直拉法（LEC）工艺介绍 | 第19-20页 |
| 2.2.2 其他单晶生长工艺介绍 | 第20-24页 |
| 第三章 磷化铟晶体微缺陷研究 | 第24-34页 |
| 3.1 化学腐蚀的原理 | 第24-29页 |
| 3.1.1 AB 腐蚀原理及腐蚀条件 | 第26-27页 |
| 3.1.2 CH 腐蚀原理及腐蚀条件 | 第27-29页 |
| 3.2 化学腐蚀的过程 | 第29-30页 |
| 3.2.1 样品准备 | 第29页 |
| 3.2.2 腐蚀过程 | 第29-30页 |
| 3.3 结果分析 | 第30-34页 |
| 3.3.1 (100)面掺 Fe InP 腐蚀结果 | 第30-31页 |
| 3.3.2 (111)面掺 S InP 腐蚀结果 | 第31-34页 |
| 第四章 磷化铟晶体均匀性的研究 | 第34-50页 |
| 4.1 测试设备及测试原理 | 第34-40页 |
| 4.1.1 光致发光技术 | 第34-35页 |
| 4.1.2 X 射线衍射技术 | 第35-37页 |
| 4.1.3 扫描电子显微镜 | 第37-38页 |
| 4.1.4 红外测试技术 | 第38-39页 |
| 4.1.5 TDS 应力测试技术 | 第39-40页 |
| 4.2 测试结果与讨论 | 第40-50页 |
| 4.2.1 结构特性 | 第40-43页 |
| 4.2.2 发光特性 | 第43-46页 |
| 4.2.3 红外吸收特性 | 第46-47页 |
| 4.2.4 表面形貌表征 | 第47-50页 |
| 第五章 Fe 杂质分布及 Fe 激活率 | 第50-54页 |
| 5.1 富磷对 Fe 激活率的影响 | 第50-51页 |
| 5.2 Fe 杂质的均匀性 | 第51-54页 |
| 第六章 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |