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薄膜的生长、结构和外延
纳米SiC薄膜的微观结构及其能带特性分析
硅基导电薄膜制备过程的光谱诊断
纳米碳化硅光生载流子衰减特性研究
ZnO荧光薄膜的制备及特性研究
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脉冲激光沉积氮化碳薄膜及其生长机理研究
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脉冲激光沉积法制备羟基磷灰石薄膜的研究--激光靶材的研制
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FeCoSi/MnIr铁磁/反铁磁纳米多层膜的制备及性能研究
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旋转涂敷法（SOD）制备硅基多孔低k薄膜材料的研究
Si基片上脉冲激光外延生长Bi2Sr2CaCu2Ox/YSZ复合薄膜
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外延生长动力学剪裁面心立方合金薄膜有序结构的研究
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氧化锌薄膜的PE-CVD制备及应用
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微晶硅薄膜的高速沉积研究
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