| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·氧化锌的结构特性 | 第10-12页 |
| ·ZnO 薄膜的光电特性 | 第12页 |
| ·ZnO 薄膜的掺杂特性 | 第12-13页 |
| ·氧化锌的应用概况 | 第13-15页 |
| ·薄膜太阳电池背反射电极材料 | 第15-17页 |
| ·薄膜太阳能电池 | 第15页 |
| ·太阳能电池工作机制 | 第15-16页 |
| ·背反射电极 | 第16-17页 |
| ·课题背景 | 第17-18页 |
| ·PECVD 法制备低逸出功材料以实现高气压放电 | 第17-18页 |
| ·薄膜太阳电池透明导电膜的制备 | 第18页 |
| ·主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 ZnO 薄膜的制备技术方法 | 第20-25页 |
| ·前言 | 第20页 |
| ·物理气相沉积(PVD) | 第20-21页 |
| ·磁控溅射 | 第20-21页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD) | 第21页 |
| ·化学气相沉积（CVD） | 第21-23页 |
| ·射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD) | 第22页 |
| ·微波等离子体增强化学气相沉积法(MW-PECVD) | 第22-23页 |
| ·有机金属分解化学气相沉积法(MOCVD) | 第23页 |
| ·当前ZnO 研究中存在的主要问题 | 第23-25页 |
| 3 实验设备及实验 | 第25-33页 |
| ·设备的详细描述及用途 | 第25-27页 |
| ·真空系统 | 第25页 |
| ·流量控制 | 第25页 |
| ·电源系统 | 第25页 |
| ·辅助加热系统 | 第25-26页 |
| ·电容耦合等离子体反应腔系统 | 第26-27页 |
| ·实验原料及选择原则 | 第27-29页 |
| ·实验原料 | 第27页 |
| ·衬底的选择 | 第27-29页 |
| ·薄膜制备实验 | 第29-30页 |
| ·实验过程 | 第29页 |
| ·实验注意事项 | 第29-30页 |
| ·薄膜性能测试方法 | 第30-33页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第30页 |
| ·X 射线光电子能谱分析（XPS） | 第30-31页 |
| ·X 射线衍射（XRD） | 第31页 |
| ·FTIR 红外光谱 | 第31-32页 |
| ·超声波法定性测量膜结合力 | 第32-33页 |
| 4 ZnO 薄膜制备与检测分析 | 第33-49页 |
| ·薄膜生长的影响因素 | 第33页 |
| ·不同衬底对ZnO 薄膜的影响 | 第33-37页 |
| ·SEM 图象分析 | 第33-34页 |
| ·电子能谱分析图 | 第34-35页 |
| ·XPS 能谱图分析 | 第35-37页 |
| ·沉积温度对ZnO 薄膜的影响 | 第37-42页 |
| ·温度对形貌的影响 | 第38页 |
| ·电子能谱分析图 | 第38-39页 |
| ·XRD 分析测试结果 | 第39-41页 |
| ·温度影响ZnO 薄膜结构的机理分析 | 第41-42页 |
| ·退火对ZnO 薄膜性能的影响 | 第42-45页 |
| ·退火和不退火形貌比较 | 第42-43页 |
| ·XRD 衍射图谱 | 第43-45页 |
| ·ZnO 薄膜的光学特性 | 第45-46页 |
| ·不同温度下ZnO 的FTIR 红外光谱分析 | 第45-46页 |
| ·退火和不退火的FTIR 红外光谱分析 | 第46页 |
| ·Cu 基ZnO 薄膜电极的放电特性研究 | 第46-49页 |
| ·放电特性研究的理论基础 | 第46-47页 |
| ·气体放电装置设计及放电实验 | 第47页 |
| ·放电实验结果分析 | 第47-49页 |
| 5 AZO 膜(ZnO:AL)的制备结果与具体分析 | 第49-57页 |
| ·ZnO 薄膜掺杂的理论分析 | 第49页 |
| ·AZO 膜(ZnO:AL)的特性研究 | 第49-53页 |
| ·AZO 膜的制备实验 | 第49-50页 |
| ·AZO 膜的电子能谱分析 | 第50页 |
| ·AZO 薄膜厚度的FSEM 测量 | 第50-52页 |
| ·AZO 膜基结合力测试 | 第52-53页 |
| ·缺陷形核机制和生长机制理论分析 | 第53-54页 |
| ·衬底预处理促进ZnO 形核的缺陷形核机制 | 第53页 |
| ·ZnO 薄膜生长机制理论分析 | 第53-54页 |
| ·影响大面积均匀性的因素 | 第54页 |
| ·水气和薄膜缺陷导致性能衰退 | 第54页 |
| ·AZO 对薄膜电池相关参数的影响 | 第54-57页 |
| ·对电池开路电压(Voc)的影响 | 第54-55页 |
| ·对电池短路电流(Jsc)的影响 | 第55页 |
| ·对电池填充因子(FF)的影响 | 第55页 |
| ·对电池转化效率(η)的影响 | 第55页 |
| ·背反射电极对太阳能电池稳定性的影响 | 第55-57页 |
| 6 低气压等离子体密度的微波测量 | 第57-61页 |
| ·等离子体参数测量的原理和方法 | 第57-58页 |
| ·微波测量原理及意义 | 第58-59页 |
| ·实验装置及过程 | 第59页 |
| ·实验结果及其分析 | 第59-61页 |
| 7 结论 | 第61-62页 |
| ·本论文主要结果 | 第61页 |
| ·有待解决的问题 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第69-70页 |
| 附录2 气体放电实验装置实物图 | 第70-71页 |
| 附录3 气体放电实验波形图 | 第71-72页 |
| 附录4 微波干涉等离子体诊断装置图 | 第72-73页 |
| 附录5 可变移相器校准曲线 | 第73页 |
