| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-9页 |
| 第二章 直流电场中甲烷分子的分解 | 第9-15页 |
| 第一节 模型 | 第9-11页 |
| 第二节 直流电场中甲烷的分解过程 | 第11-15页 |
| 第三章 CH_4／H_2为源气体的EACVD气相过程 | 第15-35页 |
| 第一节 模型 | 第15-16页 |
| 第二节 EACVD气相过程中的电子行为 | 第16-20页 |
| 第三节 CH_4、H_2的分解过程 | 第20-29页 |
| 第四节 CH_4／H_2为源气体的气相过程中CH_4的电离过程 | 第29页 |
| 第五节 典型实验条件下气相过程的研究 | 第29-35页 |
| 第四章 低温沉积金刚石薄膜机理的研究 | 第35-41页 |
| 第五章 结束语 | 第41-43页 |
| 参考文献 | 第43-46页 |