薄膜生长的三维元胞自动机模拟及其分形研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 1 绪言 | 第10-22页 |
| ·薄膜生长模拟研究意义 | 第10页 |
| ·薄膜生长模拟研究现状 | 第10-17页 |
| ·薄膜生长的计算机模拟概述 | 第10-11页 |
| ·薄膜生长主要模拟方法 | 第11-16页 |
| ·薄膜生长模型的发展 | 第16-17页 |
| ·元胞自动机方法 | 第17-19页 |
| ·元胞自动机方法简介 | 第17-18页 |
| ·元胞自动机的发展及其应用 | 第18-19页 |
| ·研究背景及研究内容 | 第19-22页 |
| ·研究背景 | 第19-20页 |
| ·研究内容 | 第20页 |
| ·本文创新 | 第20-22页 |
| 2 薄膜生长的元胞自动机模型 | 第22-44页 |
| ·薄膜生长过程及模式分析 | 第22-35页 |
| ·沉积粒子的吸附过程 | 第23-25页 |
| ·粒子的脱附过程 | 第25-26页 |
| ·粒子的迁移驰豫过程 | 第26-31页 |
| ·薄膜生长模式分析 | 第31-35页 |
| ·薄膜生长的元胞自动机抽象 | 第35-38页 |
| ·薄膜生长的物理模型 | 第37页 |
| ·物理模型的元胞自动机抽象 | 第37-38页 |
| ·演化规则抽象 | 第38页 |
| ·薄膜生长的元胞自动机模型 | 第38-43页 |
| ·元胞空间及元胞邻居 | 第38-39页 |
| ·边界条件确定 | 第39-40页 |
| ·模型演化规则 | 第40-42页 |
| ·模型运行原理 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 3 薄膜生长的元胞自动机模型实现 | 第44-56页 |
| ·薄膜生长的元胞自动机模型设计 | 第44-47页 |
| ·模型结构、功能设计 | 第44-45页 |
| ·数据库设计 | 第45页 |
| ·OpenGL 可视化设计 | 第45-47页 |
| ·薄膜生长的元胞自动机模型实现 | 第47-55页 |
| ·模型的程序实现 | 第47-54页 |
| ·模型参数设置、运行显示与结果表达 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 4 薄膜生长的模拟实验 | 第56-68页 |
| ·实验目的及内容 | 第56页 |
| ·目的及内容 | 第56页 |
| ·模型验证 | 第56-59页 |
| ·不同沉积速率的验证 | 第56-58页 |
| ·不同沉积温度的验证 | 第58-59页 |
| ·沉积速率对薄膜生长影响的模拟实验 | 第59-61页 |
| ·实验设计 | 第59页 |
| ·实验结果分析 | 第59-61页 |
| ·沉积温度对薄膜生长影响的模拟试验 | 第61-64页 |
| ·实验设计 | 第61页 |
| ·实验结果分析 | 第61-64页 |
| ·薄膜生长分形探讨 | 第64-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 5 结论与展望 | 第68-69页 |
| ·结论 | 第68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 附录 | 第74-76页 |
